| Номер в госреестре | 35567-17 |
| Наименование СИ | Измерители удельного сопротивления кремния |
| Обозначение типа СИ | РОМЕТР |
| Изготовитель | Общество c ограниченной ответственностью научно-производственная фирма "Электрон" (ООО НПФ "Электрон"), г. Красноярск |
| Год регистрации | 2017 |
| Срок свидетельства | 13.02.2027 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» (далее по тексту - прибор) предназначенный для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.
Описание средства измерения
Принцип действия прибора основан на пропускании через исследуемый образец кремния постоянного тока известной величины и измерений возникающей разности потенциалов. Постоянный ток пропускают через образец между внешними зондами четырехзондовой головки и измеряют возникающую разность потенциалов между внутренними. Удельное электрическое сопротивление (УЭС) вычисляется из значений заданного тока и измеренной разности потенциалов с применением поправочных коэффициентов на температуру образца, диаметр и толщину пластины.
Прибор состоит из следующих основных функциональных элементов: четырехзондовой головки с линейным расположением зондов; двух источников питания (один для измерительной схемы, другой для питания шаговых двигателей), микроконтроллера; аналогоцифрового преобразователя (АЦП); аналоговых эквивалентов (АЭ); калиброванного источника тока; измерительного усилителя; датчика температуры; подвижного измерительного столика; неподвижного основания прибора; шаговых двигателей; схемы управления шаговыми двигателями; датчика углового вращения измерительного столика; датчика рабочего положения четырехзондовой головки.
Общий вид измерителя удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» представлен на рисунке 1.
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Программное обеспечение предназначено для управления прибором; обработки информации, полученной от измерительных устройств в процессе проведения измерений. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | ПО «РОМЕТР» |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v12.c.xxx * |
*- где v12.. - версия ПО; с - серийный номер СИ; ххх - версия сборки ПО.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Диапазон измерения удельного электрического сопротивления, Ом*см | от 0,001 до 10000 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения, %, не более: | |
| - для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,001 до 0,01 Ом*см - для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,011 до Ю000Ом*см - для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,001 до 0,01 Ом - для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,1 до 10000 Ом | Описание |
| ±2 | |
| ±1,5 | |
| ±0,7 | |
| Пределы допускаемой дополнительной погрешности от изменения температуры окружающей среды в диапазоне рабочих температур не превышает половины соответствующей основной относительной погрешности | |
| Отклонение расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от паспортных значений не более, мм | ±0,01 |
| Нормальные условия измерений - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % - атмосферное давление, кПа | от +21 до +25 30-80 от 84 до 106 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц | 220±22 50±1 |
| Потребляемая мощность при питании от сети переменного тока, В*А, не более | 70 |
| Сопротивление изоляции между входом сетевого разъема и заземляющим проводником в нормальных климатических условиях, МОм, не менее | 20 |
| Г абаритные размеры прибора, мм, не более - высота - ширина - длина | 560 320 410 |
| Масса прибора, кг, не более | 25 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха при +25°С, % - атмосферное давление, кПа | от +18 до +28 80 от 84 до 106 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 2000 |
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации ИПЛГ.411721.001 РЭ типографским способом.
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество, шт. |
| Измеритель удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» | ИПЛГ.411721.001 | 1 |
| Комплект принадлежностей: | ||
| Паспорт | ИПЛГ.411721.001ПС | 1 |
| Кабель связи между прибором и компьютером | ИПЛГ.434612.003 | 1 |
| Программное обеспечение для ПК на CD-R диске | ИПЛГ.00007 - 01 12 01 | 1 |
| Руководство по эксплуатации | ИПЛГ.411721.001 РЭ | 1 |
| Ящик укладочный | ИПЛГ.305632.025 | 1 |
| Программная документация. Описание программы | ИПЛГ.00007 - 01 13 01 | 1 |
| Наименование | Обозначение | Количество, шт. |
| Образец монокристаллического кремния с удельным сопротивлением в диапазоне от 0,001 до 10000 Ом*см | 1 | |
| Методика поверки | 18-18/015 МП | 1 |
осуществляется по документу 18-18/015 МП «Измеритель удельного сопротивления «РОМЕТР». Методика поверки», утвержденному ФБУ «Красноярский ЦСМ» 20.10.2016 г. Основные средства поверки:
- катушка электрического сопротивления Р310, значения сопротивление 0,001; 0,0Юм, класс точности 0,01; (регистрационный № 1162-58)
- магазин сопротивлений Р 327, диапазон сопротивлений 0,1- 111111 Ом, класс точности 0,01; (регистрационный № 3297-72)
- инструментальный микроскоп ИМЦЛ 100*50, А, диапазон измеряемых длин
0 - 100 мм2, 0 - 50 мм, погрешность ±0,003 мм (регистрационный №12129-03).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих метрологические характеристики поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наноситься на боковую сторону крышки измерительного блока.
приведены в эксплуатационном документе.
ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний;
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
Технические условия ИПЛГ.411721.001 ТУ.
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 12.11.2024 |
