Для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров элементов структуры (периода, шага, ширины и высоты ступени) микро-, нанорельефа поверхности исследуемых образцов из разных материалов (проводники, полупроводники, диэлектрики) с атомарным разрешением. Применяются в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генной инженерии, создании наноструктурных материалов, запоминающих сред, химии и химической технологии, металлургии, лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательскихи учебных организациях.
