Для измерений линейных размеров деталей структур, наблюдаемых на изображении, сформированном прошедшими через исследуемый объект электронами, а также анализа микро- и наноструктуры объектов в материаловедении, микроэлектронике, геологии, биологии, металлургии и других отраслях науки и техники.