Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением, измерений силы воздействия зонда на поверхность исследуемого образца в отдельных точках, для измерения геометрических характеристик отпечатков в заданных точках поверхности после индентирования с измеренной силой. Результаты измерений могут быть использованы для определения микротвердости в нанометровом диапазоне. Применяются при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.
