Для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.