Для измерения энергетической освещенности при определении пространственной структуры и однородности нанослоев и интерфейсов многослойных наноструктур с использованием относительного углового распределения спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения.
Акционерное общество "Взлет" (АО "Взлет"), г. Санкт-Петербург; Общество с ограниченной ответственностью "Завод Взлет" (ООО "Завод Взлет"), г. Санкт-Петербург
