| Номер в госреестре | 49101-12 |
| Наименование СИ | Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов |
| Обозначение типа СИ | ПМН-1 |
| Изготовитель | ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва |
| Год регистрации | 2012 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от
0,2 10-6 до 10-4 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Мера ПМН-1 представляет собой совокупность пяти одинаковых групп периодических массивов нанообъектов на поверхности кремниевой монокристаллической пластины диаметром 50 мм. Одна группа расположена в центре пластины, остальные четыре группы расположены симметрично относительно первой в вершинах квадрата со стороной 800 мкм. Размеры каждой группы: 0,1 мм x 0,1 мм. Группы соединяются между собой дорожками шириной 5 мкм и глубиной 0,5 мкм. Внутри каждой группы сформирована рельефная шаговая структура из выступов с размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, которые образуют двумерный периодический массив нанообъектов, каждый пятый выступ в строке отсутствует, а в каждой следую -щей строке отсутствующий выступ смещен на один шаг (период).
Схематическое изображение меры ПМН-1 представлено на рисунке 1.
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
| Наименование характеристики | Значение |
| Номинальное значение среднего шага Tx по оси X периодического массива нанообъектов, нм | 200,1 |
| Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y периодического массива нанообъектов, нм | 199,7 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм | ±1,0 |
| Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) периодического массива нанообъектов, нм | 1,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy) , нм | ±0,5 |
| Номинальные размеры нанообъектов, нм | 100х100х100 |
| Размеры периодического массива нанообъектов, мкм | 100х100 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура держателя образца, °С - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па | 20±3 10-4 - 270 |
| Масса без оправы, кг | 0,0023 |
| Г абаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм | 50х0,5 |
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1, футляр, паспорт.
осуществляется по документу МП 49101-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.
Средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;
- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы, устанавливающие требования к мере рельефной нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
