Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3, 49103-12

Назначение

Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,2-10-6 до 0,002 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.

Описание

Мера ПМН-3 выполнена на пластине монокристаллического кремния диаметром 50 мм, в центре которой размещены 3 одинаковых модуля, состоящие из примыкающих друг к другу элементов размерами 2 мкм x 2 мкм, с квадратными метками размером 100 нм х100 нм через каждые 10 элементов и цифровыми метками через каждые 100 элементов, имеющие конечный элемент 19,9 мкм х 19,9 мкм с периодическим массивом нанообъектов размерами 100 нм х100 нм.

Конечный элемент представляет собой двумерную периодическую структуру, состоящую из наностолбиков размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, расстояние между столбиками 100 нм.

Квадратные метки образуют одномерную периодическую структуру.

Схематические изображения модуля меры представлены на рисунках 1-3.

А5

100x100 пт

300 пт

100 пт

I I I I IIII

р р р

р р р р р р р р

р р р р р р р р

I I I I I I IIII I I I I

Р Р Р Р Р Р Р

Р Р Р

Р Р Р Р Р Р Р Р

Р Р Р Р Р I I П

Р

“С Р С Р Г П I

I I I I I

I I I I I I I I I I

I I I I I I I I

□    □ □ □ С □□□□ □□□□

□ □□□ □□□□ Z Р Р Р □

□    РРР С □ Р □ Р Z Р Р РР

□    Р Р РСРР PPZP РРР

□    Р РРСР PPPZ РРРР

□    РРРС РРРР РРРР РРРР РРРР ZPPP р

□РРР СРРР PZPP РР

□    РР РСРР PPZP РРР □Р РРСР PPPZ РРРР

□    РРРС □□□□ РРРР РРРР РРРР РРРР Р

П П Г I I I П ГI II II ПППМ МП

РРРР РРРР РРРР р □РРР РРРР PZPP РР С

□    РР РСРР PPZP РРР — □Р РРСР PPPZ РРРР

□    РРРС РРРР РРРР РРРР РРРР ZPPP Р

□РРР СРРР PZPP РР □РР РСРР PPZP РРР

□    Р РРСР PPPZ РРРР

сс

Е

■S:—п пппп гппп пппп пппп ~innn ппп

о

ч—

Рис.3 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3. Метрологические и технические характеристики

Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.

Таблица.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3, футляр, паспорт.

Поверка

осуществляется по документу МП 49103-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.

Средства поверки:

-    мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;

-    микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют.

Нормативные документы, устанавливающие требования к мере рельефной нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-3

МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.