Главная Госреестр СИ Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV, 50908-12

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее ╞ микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.

Документы

Описание типа

Карточка СИ

Номер в госреестре	50908-12
Наименование СИ	Микроскоп электронный растровый
Обозначение типа СИ	JSM-6460LV
Изготовитель	"Jeol", Япония
Год регистрации	2012
МПИ (интервал между поверками)	1 год
Описание типа	скачать

Назначение

Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.

Описание

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных и детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных отраженных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

Программное обеспечение

Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

TR0104-020

6.54

79BD56A52F4Е65

CF14CC36193B05

85A629861652466

F272F3DB974B2F

378878B

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2 Таблица 2

Наименование характеристики	Значение
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30кВ (образец - кремний), нм, не более	30
Диапазон регулировки увеличения, крат	8-300000
Диапазон измерений линейных размеров, мкм	0,15-5000
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,15 до 0,3 мкм	±11
- в диапазоне от 0,3 до 0,6 мкм	±7
- в диапазоне от 0,6 до 5000 мкм	±5
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ	0,3-30
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В	220+22-33
Потребляемая мощность, кВ-А	3
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ	750х960х1480
- видеоконтрольный блок	1150х900х700
Масса, кг	600
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С	20 ± 5
- относительная влажность воздуха, %, не более	60
- атмосферное давление, кПа	84-107

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый JSM-6460LV, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.