Государственный реестр средств измерений

Меры вертикального перемещения нанометрового диапазона МПВ, 51906-12

51906-12
Меры вертикального перемещения нанометрового диапазона МПВ (далее ╞ меры перемещений) предназначены для воспроизведения перемещений при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, оптических интерферометров, контактных систем измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне.
Документы
Карточка СИ
Номер в госреестре 51906-12
Наименование СИ Меры вертикального перемещения нанометрового диапазона
Обозначение типа СИ МПВ
Изготовитель ЗАО "Техносистема Н", г.Москва
Год регистрации 2012
Срок свидетельства 27.11.2017
МПИ (интервал между поверками) 1 год
Описание типа скачать

Назначение

Меры вертикального перемещения нанометрового диапазона МПВ (далее - меры перемещений) предназначены для воспроизведения перемещений при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, оптических интерферометров, контактных систем измерения размеров и перемещений в на-нометровом диапазоне.

Описание

В основе принципа действия мер перемещений лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью. При подаче управляющего напряжения на пъезоэлемент, отсчетная поверхность меры перемещается в вертикальном направлении.

Конструктивно мера перемещений выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент. Для уменьшения влияния внешних факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно - модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения. Генерацию электрических управляющих сигналов с регулируемой амплитудой, частотой и формой обеспечивает электронная система управления (ЭСУ-06.2). Внешний вид мер перемещения и ЭСУ-06.2 представлен на рисунке 1.

Программное обеспечение

Меры перемещения оснащены программным обеспечением DAC Generator версии V1.0.1.13, предназначенным для управления процессом подачи на меру импульсов напряжения с ЭСУ-06.2. Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяет удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Наименование

программного

обеспечения

Идентификационное наименование программного обеспечения

Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения

DAC Generator

DAC

Generator.exe

V 1.0.1.13

1A22CC0ED72AEFE8

DCA51093F6EF02B6

MD5

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Защита программного обеспечения меры перемещения МПВ соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Диапазон перемещений, нм

от 0 до 100

Чувствительность, нм/В

m

0

0)

1

5

(2

Уровень собственных шумов, не более, нм

0,2

Разрешающая способность, не более, нм

0,2

Пределы абсолютной погрешности воспроизведения перемещений, нм

±0.5

Сопротивление изоляции, не менее, МОм

5

Условия применения:

Температура окружающей среды, °С

20±3

Изменение температуры окружающей среды во время проведения измерений, °С/ч, не более

0,1

Относительная влажность, %, не более

80

Атмосферное давление, кПа

100±4

Средний срок службы, лет

10

Масса, кг

0,120

Габаритные размеры меры перемещения, мм

диаметр

высота

38

17,8

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус пластикового герметичного контейнера.

Комплектность

Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:

1.    Мера перемещения вертикального типа нанометрового диапазона МПВ;

2.    Электронная система управления ЭСУ-06.2;

3.    Кабели соединительные;

4.    Программное обеспечение DAC Generator;

5.    Руководство по эксплуатации;

6.    Методика поверки;

7.    Пластиковый герметичный контейнер.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 51906-12 «Меры вертикального перемещения нанометрового диапазона МПВ. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.

Основное поверочное оборудование: прибор для измерений шероховатости поверхности с характеристиками не хуже:

•    разрешение - 0,5 нм;

•    вертикальное увеличение - 10б;

•    предел случайной погрешности - 0,3 %.

Сведения о методах измерений

Сведения о методах измерений содержатся в документе РЭ ГК.002-11. «Меры вертикального перемещения нанометрового диапазона МПВ. Руководство по эксплуатации».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам вертикального перемещения нанометрового диапазона МПВ

ТУ ГК. 002-2011 «Меры вертикального перемещения нанометрового диапазона МПВ. Технические условия».

Рекомендации к применению

Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.

51906-12
Номер в ГРСИ РФ:
51906-12
Производитель / заявитель:
ЗАО "Техносистема Н", г.Москва
Год регистрации:
2012
Cрок действия реестра:
27.11.2017
Похожие СИ
93725-24
93725-24
2024
Общество с ограниченной ответственностью "ЭлМетро Групп" (ООО "ЭлМетро Групп"), г. Челябинск
Срок действия реестра: 15.11.2029
93726-24
93726-24
2024
Общество с ограниченной ответственностью "Форт-Телеком" (ООО "Форт-Телеком"), г. Пермь
Срок действия реестра: 15.11.2029
93727-24
93727-24
2024
Общество с ограниченной ответственностью "ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ ПСКОВ ЭКОЛОГИЯ" (ООО "ПО Псков Экология"), г. Псков
Срок действия реестра: 15.11.2029
93728-24
93728-24
2024
Shaanxi Far-Citech Instrument & Equipment Co., Ltd., Китай; производственная площадка Beijing NordTech Instrument & Meter Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 15.11.2029
93729-24
93729-24
2024
Акционерное общество "СИНТЭП" (АО "СИНТЭП"), г. Новосибирск
Срок действия реестра: 15.11.2029
93730-24
93730-24
2024
SHANGHAI UNI-STAR TOOLS COMPANY, КНР
Срок действия реестра: 15.11.2029
93733-24
93733-24
2024
Hitachi High-Tech Science Corporation, Япония
Срок действия реестра: 15.11.2029
93734-24
93734-24
2024
Chongqing Silian Measurement and Control Technology Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 15.11.2029
93753-24
93753-24
2024
Thermal Instrument India Pvt. Ltd., Индия
Срок действия реестра: 15.11.2029
93755-24
93755-24
2024
SHIJIAZHUANG HANDI TECHNOLOGY CO., LTD, Китай
Срок действия реестра: 15.11.2029