Государственный реестр средств измерений

Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ, 51907-12

Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ (далее ╞ меры перемещений) предназначены для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.
Документы
Карточка СИ
Номер в госреестре 51907-12
Наименование СИ Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона
Обозначение типа СИ МПГ
Изготовитель ЗАО "Техносистема Н", г.Москва
Год регистрации 2012
Срок свидетельства 27.11.2017
МПИ (интервал между поверками) 1 год
Описание типа скачать

Назначение

Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ (далее - меры перемещений) предназначены для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.

Описание

В основе принципа действия меры перемещений лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью, в горизонтальном направлении. При подаче управляющего напряжения на пъезоэлемент, от-счетная поверхность меры перемещается в горизонтальном направлении.

Конструктивно мера перемещений выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент, на лицевой поверхности которого установлена рельефная решетка, перемещающаяся в горизонтальном направлении. Для отстройки от внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно - модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения. Генерацию электрических управляющих сигналов с регулируемой амплитудой, частотой и формой обеспечивает электронная система управления (ЭСУ-06.2). Внешний вид мер перемещения и ЭСУ-06.2 представлен на рисунке 1.

Программное обеспечение

Мера перемещения МПГ оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V1.0.1.13, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с ЭСУ-06.2. Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Наименование

программного

обеспечения

Идентификационное наименование программного обеспечения

Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения

DAC Generator

DAC

Generator.exe

V 1.0.1.13

1A22CC0ED72AEFE8

DCA51093F6EF02B6

MD5

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Защита программного обеспечения меры перемещения МПГ соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Диапазон перемещений, нм

от 0 до 200

Чувствительность, нм/В, не менее

50-10-3

Уровень собственных шумов, не более, нм

0,2

Разрешающая способность, не более, нм

0,2

Пределы абсолютной погрешности воспроизведения перемещений, нм

±1.0

Сопротивление изоляции, не менее, МОм

5

Условия применения:

Температура окружающей среды, °С

20±3

Изменение температуры окружающей среды во время проведения измерений, °С/ч, не более

0,1

Относительная влажность, %, не более

80

Атмосферное давление, кПа

100±4

Средний срок службы, лет

10

Масса, кг

0,135

Габаритные размеры мер перемещения, мм

диаметр

38

высота

19

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус пластикового герметичного контейнера.

Комплектность

Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:

1.    Мера горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ;

2.    Электронная система управления ЭСУ-06.2;

3.    Кабели соединительные;

4.    Программное обеспечение DAC Generator;

5.    Оснастка для проведения калибровки и поверки меры;

6.    Руководство по эксплуатации;

7.    Методика поверки.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 51907-12 «Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.

Основное поверочное оборудование: прибор для измерений шероховатости поверхности с характеристиками не хуже:

•    разрешение - 0,5 нм;

•    вертикальное увеличение - 10б;

•    предел случайной погрешности - 0,3 %.

Сведения о методах измерений

Сведения о методах измерений содержатся в документе РЭ ГК.003-10. «Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ. Руководство по эксплуатации».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ

ТУ ГК. 003-10 «Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ. Технические условия».

Рекомендации к применению

Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.

Номер в ГРСИ РФ:
51907-12
Производитель / заявитель:
ЗАО "Техносистема Н", г.Москва
Год регистрации:
2012
Cрок действия реестра:
27.11.2017
Похожие СИ
94992-25
94992-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью Производственно-монтажная компания "Практик" (ООО ПМК "Практик"), г. Москва
Срок действия реестра: 27.03.2030
94993-25
94993-25
2025
Jiangsu Pinyan Photoelectric Technology Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
94997-25
94997-25
2025
"Beijing Beifen-Ruili Analytical Instrument (Group) Co., Ltd.", Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95001-25
95001-25
2025
Shanghai Wusong Electric Industrial Co., Ltd, Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95002-25
95002-25
2025
Shanghai Wusong Electric Industrial Co., Ltd, Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95003-25
95003-25
2025
Fujian Lilliput Optoelectronics Technology Co., Ltd., КНР
Срок действия реестра: 27.03.2030
95005-25
95005-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "СервисСофт Инжиниринг" (ООО "СервисСофт Инжиниринг"), г. Москва
Срок действия реестра: 27.03.2030
95006-25
95006-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "ЮМССОФТ" (ООО "ЮМССОФТ"), г. Томск
Срок действия реестра: 27.03.2030
79207-25
79207-25
2025
Закрытое акционерное общество "Мехатроника" (ЗАО "Мехатроника"), Республика Беларусь
Срок действия реестра: 05.12.2029
94967-25
94967-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "Золотой Век" (ООО "Золотой Век"), г. Екатеринбург
Срок действия реестра: 21.03.2030