Государственный реестр средств измерений

Профилометр оптический TMS-100, 52087-12

Профилометр оптический TMS-100 (далее ╞ профилометр) предназначен для бесконтактных измерений высоты профиля поверхности плоских шероховатых и/или отражающих объектов, а также для измерения расстояния между двумя или более плоскими поверхностями, разнесенными по высоте до 70 мм.
Документы
Карточка СИ
Номер в госреестре 52087-12
Наименование СИ Профилометр оптический
Обозначение типа СИ TMS-100
Изготовитель "Polytec GmbH", Германия
Год регистрации 2012
МПИ (интервал между поверками) 1 год
Описание типа скачать

Назначение

Профилометр оптический TMS-100 (далее - профилометр) предназначен для бесконтактных измерений высоты профиля поверхности плоских шероховатых и/или отражающих объектов, а также для измерения расстояния между двумя или более плоскими поверхностями, разнесенными по высоте до 70 мм.

Описание

Принцип действия профилометра основан на интерференции белого света, отраженного от объекта и опорного зеркала. Профилометр является вертикально сканирующим интерферометром белого света. Оптическая часть профилометра выполнена по схеме интерферометра Майкельсона с использованием широкого параллельного пучка света и телецентрической оптической системы для построения изображения объекта. В предметное плечо интерферометра устанавливается исследуемый объект. Только для тех точек объекта, для которых оптическая длина пути излучения совпадает с оптической длиной пути в опорном плече интерферометра, создается контрастная интерференционная картина. Для остальных точек объекта контраст полос резко падает, т.к. используется источник света с малой длиной когерентности (источник белого света). Далее вся оптическая система профилометра перемещается в вертикальном направлении z, перпендикулярном плоскости (x, у) расположения образца, и последовательно плоскость за плоскостью сканирует объект по высоте. Так как в профилометре используются параллельные пучки света и телецентрическая оптическая система с малой числовой апертурой, то он может измерять объекты только с небольшими градиентами профиля поверхности. Однако за счет прецизионной системы перемещения интерферометра по вертикали профилометр позволяет измерять высоту объектов типа «ступеньки» с высокой точностью и в большом динамическом диапазоне.

Информация, зарегистрированная видеокамерой, в оцифрованном виде поступает в персональный компьютер (ПЭВМ), где с помощью программы TMS производится ее автоматическая обработка. Результаты измерений в виде двумерных (или трехмерных) профилей исследуемых объектов, псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на мониторе компьютера.

Видеоизображение объекта отображается на экране жидкокристаллического монитора в режиме реального времени, что позволяет настроить область измерения непосредственно на данном видеоизображении. Все настройки выполняются в программе TMS, установленной на персональном компьютере.

Конструктивно профилометр выполнен из трех элементов: интерферометра (оптическая система профилометра), персонального или промышленного компьютера (в зависимости от комплекта поставки) и жидкокристаллического монитора. Основным элементом профилометра является интерферометр, выполненный в виде стационарного настольного прибора, подключаемого к персональному компьютеру. В зависимости от предметного столика, которым комплектуется интерферометр возможны две конфигурации прибора: стандартная (предметный столик не имеет подвижек и занимает всю область наблюдения) и конфигурация с системой ХУ-позиционирования (применяется двухкоординатный предметный столик, с направляющими вдоль осей х и у), что позволяет выполнять измерения более крупных объектов с последующей программной склейкой полученных результатов измерений. Управление прибором осуществляется с помощью программного обеспечения, установленного в персональный компьютер.

Рисунок 1 - Внешний вид профилометра оптического TMS-100

■:ы

/

Место нанесения маркировки :j-.i

Место пломбирования

е

С€

©

0 /

7

%

i j j

«■

IrsT'1’

R

фИМ!Е -

е

Наименование

программного

обеспечения

Идентификацио

нное

наименование

Программного

обеспечения

Номер версии (идентификаци онный номер) программного обеспечения

Цифровой

идентификатор

программного

обеспечения

(контрольная

сумма

исполняемого

кода)

Алгоритм

вычисления

идентификатор

программного

обеспечения

Topography

Measurement

System

TMS Software

2.1

0x03b43cae

CRC-32

Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора.

Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики профилометров приведены в таблице 2. Таблица 2

Наименование характеристики прибора

Значение

Диапазон измерения линейных размеров по высоте вдоль оси Z, мм

0 - 70

Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по высоте вдоль оси Z, мкм:

0^0,005 мм;

0,5

0,005^0,05 мм;

4,0

0,05^70 мм

7,5

Диапазоны измерения линейных размеров в поперечном сечении XY,

мм

- изображение регистрируется камерой scA 640

38 х 28

- изображение регистрируется камерой scA 1000

37 х 28

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров в поперечном сечении XY, мкм - изображение регистрируется камерой scA 640

± 58

- изображение регистрируется камерой scA 1000

± 36

Рабочая длина волны, нм

525

Г абаритные размеры интерферометра, мм, не более

580 х 340 х 372

Масса интерферометра, кг, не более

30

Потребляемая мощность, Вт, не более

40

Напряжение питания, В

(100 - 240) ± 10 %

при частоте, Г ц

50/60

Условия эксплуатации:

- диапазон температур окружающей среды, °С

5 - 35

- диапазон относительной влажности воздуха, %

35 - 85

- диапазон атмосферного давления, кПа

75 - 106

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации. Комплектность средства измерений

Таблица 3

Наименование

Количество,

шт

Интерферометр TMS-100

1

Компьютер (настольный или промышленный)

1

Устройства управления и ввода информации (манипулятор мышь, клавиатура)

1

ЖК монитор

1

сетевой кабель для подключения монитора

1

сетевой кабель

Программное обеспечение

1

Электронный ключ (Dongle)

1

Кабель USB

1

Кабель IEEE-1394 FireWire

1

Планка M4

Испытательный объект Polytec

1

Торцевой ключ (размер 2 мм)

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки

1

Поверка

осуществляется по документу «Профилометры оптические TMS-100. Методика поверки МП 42. Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 24 февраля 2012 г.

Основные средства поверки:

1    Меры длины штриховые, класс точности 5 по ГОСТ 12069-90.

-    Метрологические характеристики:

-    Номинальная длина 60мм

-    Допускаемое отклонение от номинального значения меры 22,0 мкм

2    Меры длины концевые плоскопараллельные, класс точности 1 по ГОСТ 9038-90

Номинальные значения длины концевых мер, мм

Допускаемые отклонения длины от номинального значения, мкм

Св. 0,9 до 10

± 0,20

Св. 10 до 25

± 0,30

Св. 25 до 50

± 0,40

3 Вторичный эталон ВЭТ 113-2-09 (Рабочий эталон в области измерения параметров шероховатости поверхности в составе трех мер высоты неровности и меры периода и глубины профиля поверхности).

Метрологические характеристики:

-    Номинальное значение высоты ступеньки 1,781 мкм

-    Расширенная неопределенность аттестованного значения высоты ступеньки 0,011

мкм

Сведения о методах измерений

«Профилометр оптический TMS-100. Руководство по эксплуатации» глава 4 «Выполнение измерений» и «Система измерения топографии (TMS) Версия 2.1. Руководство по программному обеспечению» глава 4 «Выполнение измерений».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометрам оптическим TMS-100

Техническая документация фирмы “Polytec GmbH”, Германия

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

52087-12
Номер в ГРСИ РФ:
52087-12
Производитель / заявитель:
"Polytec GmbH", Германия
Год регистрации:
2012
Похожие СИ
94992-25
94992-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью Производственно-монтажная компания "Практик" (ООО ПМК "Практик"), г. Москва
Срок действия реестра: 27.03.2030
94993-25
94993-25
2025
Jiangsu Pinyan Photoelectric Technology Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
94997-25
94997-25
2025
"Beijing Beifen-Ruili Analytical Instrument (Group) Co., Ltd.", Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95001-25
95001-25
2025
Shanghai Wusong Electric Industrial Co., Ltd, Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95002-25
95002-25
2025
Shanghai Wusong Electric Industrial Co., Ltd, Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95003-25
95003-25
2025
Fujian Lilliput Optoelectronics Technology Co., Ltd., КНР
Срок действия реестра: 27.03.2030
95005-25
95005-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "СервисСофт Инжиниринг" (ООО "СервисСофт Инжиниринг"), г. Москва
Срок действия реестра: 27.03.2030
95006-25
95006-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "ЮМССОФТ" (ООО "ЮМССОФТ"), г. Томск
Срок действия реестра: 27.03.2030
79207-25
79207-25
2025
Закрытое акционерное общество "Мехатроника" (ЗАО "Мехатроника"), Республика Беларусь
Срок действия реестра: 05.12.2029
94967-25
94967-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "Золотой Век" (ООО "Золотой Век"), г. Екатеринбург
Срок действия реестра: 21.03.2030