| Номер в госреестре | 53466-13 |
| Наименование СИ | Стенд измерительный для СБИС |
| Обозначение типа СИ | Agilent 93000 С200e |
| Изготовитель | "Agilent Technologies Deutschland GmbH SOC Order FulFillment", Германия |
| Год регистрации | 2013 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е предназначен для контроля и измерения параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве, и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Принцип работы стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200е основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности, или алгоритмическим генератором тестов и драйверами каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Стандартная частота смены векторов тестовой последовательности 50 МГц может быть повышена в мультиплицированном режиме до 200 МГц путем задания на каждый такт вектора тестовой последовательности до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 4 временных меток, формирующих 4 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 56 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всём диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме любой канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля, и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля предназначен драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов с выхода объекта используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками, (общим количеством до 4), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по амплитуде силы тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначен измерительный источник питания GPDPS (E7002AA).
Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е выполнен в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200e представлен на рисунке ниже.
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 16-ти канальные измерительные платы, общее количество до 12 шт., всего до 192 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU);
- источники питания GPDPS (E7002AA) до 12 шт.
По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств системы, а также обработку и документирование измерительной информации.
Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.
| класс риска | А по WELMEC 7.2 для категории U |
| идентификационное наименование | SnuuTosl |
| идентификационный номер версии | 4.3.13 и выше |
| диапазон установки длительности векторов (периода) тестовой пос в стандартном режиме | :л е д о в ат ел ь н ост и (ТП) от 20 до 163840 нс от 5 до 40960 нс |
| в мультиплицированном режиме | |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т векторов (периода) ТП | ± 110-3Т |
| максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов | |
| при амплитуде 1 В | 1,3 нс |
| при амплитуде 3 В | 1,7 нс |
| минимальная длительность выходных импульсов | |
| при амплитуде 1 В | 2.1) мс |
| при амплитуде 3 В | 2,4 нс |
| диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов Е1 - Е8, стробирующих импульсов Е9 - Е14 | от - 4-Т до + 12-Т |
| крайние значения временных меток | - 4 мкс; + 140 мкс |
| разрешение временных меток | 10 пс |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток Е1 - Е8 | ± 175 пс |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток Е9 - Е14 | ± 350 пс |
| диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера | от - 1 до + 6 В |
| разрешение уровней напряжения драйвера | 2,5 мВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения уровней напряжения драйвера | ± 15 мВ |
| выходное сопротивление драйвера | от 45 до 55 Ом |
| диапазон установки уровней напряжения компаратора | от - 1 до + 6 В |
| разрешение уровней напряжения компаратора | 2,5 мВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения уровней напряжения компаратором | ± 15 мВ |
| диапазон воспроизведения силы тока активной нагрузки | от - 35 до + 35 мА |
| разрешение силы тока активной нагрузки | 12,5 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки | ± (110-2 •I + 75 мкА) |
| пределы воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем PMU | от - 2 до + 7 В |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U PMU | ± (510-3U + 20 мВ + IR) 1 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U PMU | ± (510-3U + 10 мВ + IR) 1 |
| пределы воспроизведения и измерения силы тока PMU | 10; 100 мкА; 1; 40 мА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I PMU | |
| на пределе 10 мкА | ±(5-10-1 + 100 нА) ± (5- НГ’-I + 500 нА) ±(5 НГ1 + 5 мкА) .....±(5710;гН:2б0мкА).............................. |
| на пределе 100 мкА | |
| на пределе 1 мА | |
| на пределе 40 мА | |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I PMU | |
| на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА | (5 К)" 1 1......Л) ± (5- НГЧ + 125 нА) ± (5- 1(Г’1 + 1.25 мкА) |
| на пределе 1 мА | |
| на пределе 40 мА | : (5-НГ'1 • 50 мкЛ) |
| пределы воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем HPPMU | от - 5 до + 8 В |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения U HPPMU | ± (IR + 2 мВ) 1 |
| пределы воспроизведения и измерения силы тока I HPPMU | 5; 200 мкА; 5; 200 мА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I HPPMU | |
| на пределе 5 мкА | ± (5-10 I + 10 нА) |
| на пределе 200 мкА | ± (5- НГ’1 + 200 нА) |
| на пределе 5 мА | : (5-10’ -I • 10 мкЛ) |
| на пределе 200 мА | : (5- НГ'1 • 200 мкЛ) |
| пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания GPDPS | от - 7 до + 7 В; от - 8 до + 8 В |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U GPDPS | ± (1-10-3-U + 5 мВ) |
| максимальная сила тока в нагрузке измерительного источника GPDPS | |
| при воспроизведении напряжения + 7 В | + 7 А |
| при воспроизведении напряжения + 8 В | 4 \ |
| при воспроизведении напряжения - 7 В | 4 \ |
| при воспроизведении напряжения - 8 В | -4 А |
| пределы измерения силы тока GPDPS | 100 мкА; 10 мА; 0,3; 8 А |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I GPDPS | |
| на пределе 100 мкА | ±(110'31 + 100 нА) |
| ма ii|V ю.ю 1 п м \ | ± (1- 1(Г’1 + 10 мкА) ± (1 • НГ’1 + 300 мкА) .....: (1 К) ' 1 • 20 мЛ).......................................... |
| ма про ю.ю п.З \ | |
| на пределе 8 А | |
| ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
| габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм | |
| головной блок с манипулятором и вспомогательной стойкой | 1650 х 1530 х 2510 |
| установка водяного охлаждения | 1150 х 650 х Ю50 |
| примечание 1: R = 0,5 Ом | |
| масса, не более | |
| головной блок с манипулятором и вспомогательной стойкой | 1430 кг |
| установка водяного охлаждения | 280 кг |
| напряжение питания от сети трехфазного переменного тока частотой (50 ± 1) Гц | от 342 до 418 В |
| потребляемая мощность от сети 380 В; 50 Гц, не более | 25 кВА |
| температура окружающей среды | от 20 до 30 °С |
| относительная влажность при температуре 30 °С, не более | 80 % |
| электромагнитная совместимость | по ГОСТ Р 51522-99 |
| безопасность | по ГОСТ Р 52319-2005 |
Знак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
| наименование и обозначение | кол-во |
| измерительный головной блок Е6978С зав. № DE397 00195 | 1 шт. |
| манипулятор E6979A зав. № 913 03 0166 | 1 шт. |
| установка водяного охлаждения E2760DA зав. № DE40A 15086 | 1 шт. |
| стойка вспомогательная | 1 шт. |
| программа управляющая SmarTest | 1 шт. |
| компьютер HP xw4100 | 1 шт. |
| стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200e. руководство по эксплуатации | 1 шт. |
| методика поверки МП 010/551-2013 | 1 шт. |
| программа для поверки PR_POV_195 | 1 шт. |
| комплект оснастки для поверки в составе: | |
| устройство согласования ТСКЯ.418133.209 | 1 шт. |
| плата коммутационная E7010E | 1 шт. |
| устройство согласования ТСКЯ.418133096-01 | 1 шт. |
осуществляется по документу МП 010/551-2013 «Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200e DE39700195», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 09.04.2013 г.
Средства поверки
| средство поверки и требования к его метрологическим характеристикам | рекомендуемое средство поверки и его метрологические характеристики |
| осциллограф цифровой абсолютная погрешность измерения периода и временных интервалов Т не более ± (50 пс + 3,5 10-4-Т) | осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 абсолютная погрешность измерения периода и временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (6 пс + 3,5 10-6-Т) |
| измеритель постоянного напряжения абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах 100 мВ не более ± (1 • 10-4U + 20 мкВ) 1 В не более ± (110-4U + 100 мкВ) 10 В не более ± (110-4U + 500 мкВ) | мультиметр цифровой Keithley 2000 абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах 100 мВ не более ± (6,5 10-5U + 3,5 мкВ) 1 В не более ± (3,210-5U + 7 мкВ) 10 В не более ± (310-5U + 50 мкВ) |
| калибратор-измеритель постоянного напряжения и силы постоянного тока абсолютная погрешность установки напряжения от 0 до 8 В не более ± (1,610-3 U + 3 мВ) абсолютная погрешность измерения напряжения от 0 до 8 В не более ± (1,610-3 U + 6 мВ) абсолютная погрешность установки силы тока на пределах: 10 мкА не более ± (1,6 10-3 I + 33 нА), 100 мкА не более ± (1,610-3 I + 40 нА), 1 мА не более ± (1,6 10-3 I + 0,4 мкА), 40 мА не более ± (1,610-3 I + 16 мкА); абсолютная погрешность измерения силы тока на пределах: 10 мкА не более ± (1,6 10-3 I + 33 нА), 100 мкА не более ± (1,610-3 I + 160 нА), 1 мА не более ± (1,6 10-3 I + 1,6 мкА), 40 мА не более ± (1,610-3 I + 60 мкА) абсолютная погрешность измерения напряжения от 0 до 8 В при установке силы тока от 0 до 7 А не более ± (3,310-4U + 1,6 мВ) | калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 абсолютная погрешность установки напряжения на пределе 20 В не более ± (210-4U + 2,4 мВ); абсолютная погрешность измерения напряжения на пределе 20 В не более ± (1,510-4U + 1 мВ) абсолютная погрешность установки силы тока на пределах 10 мкА не более ± (3,310-4I + 2 нА), 100 мкА не более ± (3,1 10-4I + 20 нА), 1 мА не более ± (3,3410-4I + 0,2 мкА), 100 мА не более ± (6,610-4I + 20 мкА); абсолютная погрешность измерения силы тока на пределах 10 мкА не более ± (2,710-4I + 0,7 нА), 100 мкА не более ± (2,510-4I + 6 нА), 1 мА не более ± (2,5 10-4I + 60 нА), 100 мА не более ± (5,510-4I + 6 мкА) |
| калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А пределы воспроизведения силы тока 5, 10 А; абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах: 1 В не более ± (1,510-4U + 0,3 мВ), 10 В не более ± (1,510-4U + 3 мВ) | |
| измеритель силы постоянного тока абсолютная погрешность измерения силы постоянного тока на пределе 200 мА не более ± (3,310-4I + 66 мкА) | мультиметр Agilent 3458А абсолютная погрешность измерения силы тока на пределе 1 А не более ± (110-4I + 10 мкА) |
| калибратор постоянного тока абсолютная погрешность установки силы тока: 80 мкА не более ± 0,06 мкА, 8 мА не более ± 6 мкА, 300 мА не более ± 0,2 мА, 4 А не более ± 8 мА, 7 А не более ± 9 мА | калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 абсолютная погрешность установки силы тока: 80 мкА не более ± 0,045 мкА 8 мА не более ± 5,6 мкА |
| калибратор универсальный Fluke 9100 абсолютная погрешность установки силы тока: 300 мА не более ± 0,06 мА, 4 А не более ± 3,1 мА, 7 А не более ± 4,8 мА |
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные документы, устанавливающие требования к стенду измерительному для СБИС Agilent 93000 С200е
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 110-16 - 30 А.
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
| Зарегистрировано поверок | 10 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 18.09.2024 |
