Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3, 53639-13

Назначение

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 (далее по тексту установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления негорючих газов.

Описание

Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра - ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными вакуумметрами абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере установки. Регулирование давления в камере осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.

Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На передней панели корпуса расположены органы управления установкой, а также лицевые панели электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого ионизационным вакуумметром AIGX. К измерительной камере установки кроме эталонных вакуумметров подключен вакуумметр APG, предназначенный для индикации давления в форва-куумной линии турбомолекулярного насоса. Установка применяется для поверки и калибровки рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров). Измерительные преобразователи поверяемых (калибруемых) СИ подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется методом непосредственного сличения их показаний с показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1 -10-5 до 1-10-2 Па с вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1-10-2 до

1-103 Па с вакуумметром ВДТО-3.

Внешний вид установки приведен на рисунке 1.

Диапазон измерений, Па

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % в диапазоне от 1 -10-5 до 1 -10-2 Па

от 1-10-5 до 1-103

±15

±10

1-10-6

220±22

50±1

2,5

1350

800

1250

140

10000

10

2    3

в диапазоне свыше 1-10 до 1-10 Па Предельное остаточное давление, Па, не более Электропитание установки:

•    напряжение, В

•    частота, Гц Потребляемая мощность, кВ-А, не более Габаритные размеры, мм, не более:

•    длина

•    ширина

•    высота Масса, кг, не более

Средняя наработка до метрологического отказа, ч Средний срок службы, лет

Условия эксплуатации:

-    температура окружающего воздуха, °С

20±5

60±15

от 84 до 106,7

-    относительная влажность окружающего воздуха, %

-    атмосферное давление, кПа

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и формуляра, фотохимическим или иным методом на корпус установки.

Комплектность

В комплект поставки входят:

1    Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 - 1 шт.

2    Руководство по эксплуатации - 1 экз.

3    Формуляр - 1 экз.

4    Методика поверки МП 231-0021-2013 - 1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 231-0021-2013 «Установка вакуумметрическая эталонная 2го разряда ВАТТ УВЭ-3. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» 24.01.2013 г.

Основными средствами измерений, применяемыми при поверке, являются: Государственный первичный специальный эталон единицы давления для области абсолютных давлений в диапазоне от 10-3 до 103 Па ГЭТ 49-80. СКО не более 0,310-2, НСП не более 0,3 10-2.

Установка вакуумметрическая редукционная эталонная 1-го разряда ВОУ-1. Диапа-

7    3

зон измерений от 10 до 10 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ± (7 - 3) %.

Сведения о методах измерений

Сведения о методе измерений приведены в документе «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3. Руководство по эксплуатации».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке ва-куумметрической эталонной 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3

1    ГОСТ 8.107-81 «Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10-8-1-103 Па».

2    Техническая документация изготовителя.

Рекомендации к применению

выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений: установка ва-куумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 применяется в качестве эталонного средства измерений при поверке и калибровке рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров).