Назначение
Анализаторы влажности МКМ-1 предназначены для измерения объёмной доли влаги газовой среды в подкорпусном пространстве устройств физической электроники.
Описание
Анализаторы влажности МКМ-1 (далее - анализаторы) основаны на масс-спектрометрическом методе измерения влажности. Анализатор включает в себя времяпролетный масс-спектрометр, электронно-вакуумный комплекс и измерительную камеру для образцов. Подготовленный к анализу образец, состоящий из герметичного корпуса, внутри которого содержится анализируемая газовая среда, помещается в измерительную камеру анализатора. В измерительной камере создаётся вакуум, после чего происходит прокалывание образца. Газ из подкорпусного пространства поступает в масс-спектрометр, где происходит измерение объёмной доли паров воды. Анализатор выполнен в виде напольной стойки с дверцами. На лицевой стороне анализатора расположена панель управления с жидкокристаллическим дисплеем, отображающим результаты измерений, информацию о режимах работы электронно-вакуумного комплекса и масс-спектрометра. Также на лицевой стороне корпуса расположена измерительная камера для образцов. Анализатор имеет цифровой интерфейс USB для подключения персонального компьютера с установленной программой Scope, осуществляющей считывание сигналов масс-спектрометра, вывод результатов измерений на экран, вывод информации о режимах работы, настройку анализатора, запись градуировочных характеристик масс-спектрометра, установку пороговых значений измеряемой объёмной доли влаги, выдачу сигнализации при нарушении пороговых значений и при ошибках работы, регистрацию результатов измерений. Внешний вид анализатора влажности МКМ-1 представлен на рисунке 1.
В анализаторах влажности МКМ-1 используется встроенное и внешнее программное обеспечение. Встроенное программное обеспечение предназначено для управления анализатором, сбора и обработки сигналов масс-спектрометра, передачи цифровых выходных сигналов, отображения режимов работы и результатов измерений. Внешнее программное обеспечение предназначено для приёма цифровых выходных сигналов, вывода результатов измерений, контроля состояния параметров вакуумных и электронных блоков, контроля пороговых значений, хранения калибровочных коэффициентов.
Версия встроенного программного обеспечения анализатора указывается на шильде на внутренней стороне корпуса. Версия внешнего программного обеспечения указывается в разделе меню «О программе. ».
Влияние программного обеспечения на метрологические характеристики анализаторов влажности учтено при нормировании метрологических характеристик. Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Таблица 1. Идентификационные данные программного обеспечения
Наименование программного обеспечения | Идентифика ционное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификац ионный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
h2o_815 | h2o 815.hex | 3.12 | fa3d571d229be e627ed963e26f68f50 f3802eab74b8475ed 88c17a95 | RFC 4357 ГОСТ Р 34.11-94 |
Scope | Scope.exe | 3.07 | b73a571c229ba a321ef961336fa8f3af 7ba2ba354b8a781d8 4a18a12 | RFC 4357 ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
1. Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.
Таблица 2
Наименование характеристики | Значение характеристики |
Диапазон измерений объёмной доли влаги, млн-1 | от 200 до 11000 |
Пределы допускаемой относительной | |
погрешности, %, в диапазоне: | |
от 200 до 1000 млн-1 | ± 20 |
свыше 1000 до 6000 млн-1 | ± 10 |
свыше 6000 до 11000 млн-1 | ± 20 |
Условия эксплуатации: | |
^ o/"4 - диапазон температуры окружающей среды, С | от 15 до 25 |
- диапазон относительной влажности при | |
температуре 25 °С, % | от 20 до 80 |
- диапазон атмосферного давления, кПа | от 84 до 107 |
Выходные сигналы | USB |
Параметры электрического питания | (220 +22-33) В, (50±1) Гц |
Потребляемая мощность, Вт, не более | 780 |
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более | 500 х 600 х 1200 |
Наименование характеристики | Значение характеристики |
Масса, кг, не более | 75 |
Среднее время наработки на отказ, ч | 4800 |
Срок службы, лет | 8 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус анализатора в виде надписи на закрепленной на корпусе металлической или пластиковой пластине.
Комплектность
Комплект поставки анализатора влажности МКМ-1 приведен в таблице 3.
Таблица 3
Наименование | Обозначение | Количество |
Анализатор влажности МКМ-1 | МКМ 01.00.00.000 | 1 |
Комплект монтажных и запасных частей | МКМ 01.00.00.000 ЗИП | 1 |
Калибровочная капсула | МКМ 01.00.00.000 ПК | 5 |
Программное обеспечение на компакт-диске | МКМ 01.00.00.000 ПРО | 1 |
Руководство по эксплуатации | МКМ 01.00.00.000 РЭ | 1 |
Формуляр | МКМ 01.00.00.000 ФО | 1 |
Методика поверки | МП-242-1528-2013 | 1 |
Свидетельство о первичной поверке | | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП-242-1528-2013 "Анализаторы влажности МКМ-1. Методика поверки", разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им Д.И. Менделеева" 25 марта 2013 г.
Основные средства поверки:
генератор влажного воздуха HygroGen, номер Госреестра 32405-11, диапазон воспроизведения относительной влажности от 2 до 99 %, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу относительной влажности ±0,5 %, диапазон воспроизведения температуры от 0 до 60 °С, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу температуры ±0,1 °С ;
гигрометр Rotronic модификации HygroPalm, номер Госреестра 26379-10, диапазон измерений относительной влажности от 0 до 100 %, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу относительной влажности ±1 %, диапазон измерений температуры от минус 20 до 60 °С, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу температуры ±0,1 °С .
Сведения о методах измерений
Методика измерений приведена в руководстве по эксплуатации на анализаторы влажности МКМ-1.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализаторам влажности МКМ-1
1 ГОСТ 8.547-2009 "ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений влажности газов".
2 Техническая документация изготовителя.
Рекомендации к применению
выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.