Анализаторы влажности МКМ-1, 53684-13

Назначение

Анализаторы влажности МКМ-1 предназначены для измерения объёмной доли влаги газовой среды в подкорпусном пространстве устройств физической электроники.

Описание

Анализаторы влажности МКМ-1 (далее - анализаторы) основаны на масс-спектрометрическом методе измерения влажности. Анализатор включает в себя времяпролетный масс-спектрометр, электронно-вакуумный комплекс и измерительную камеру для образцов. Подготовленный к анализу образец, состоящий из герметичного корпуса, внутри которого содержится анализируемая газовая среда, помещается в измерительную камеру анализатора. В измерительной камере создаётся вакуум, после чего происходит прокалывание образца. Газ из подкорпусного пространства поступает в масс-спектрометр, где происходит измерение объёмной доли паров воды. Анализатор выполнен в виде напольной стойки с дверцами. На лицевой стороне анализатора расположена панель управления с жидкокристаллическим дисплеем, отображающим результаты измерений, информацию о режимах работы электронно-вакуумного комплекса и масс-спектрометра. Также на лицевой стороне корпуса расположена измерительная камера для образцов. Анализатор имеет цифровой интерфейс USB для подключения персонального компьютера с установленной программой Scope, осуществляющей считывание сигналов масс-спектрометра, вывод результатов измерений на экран, вывод информации о режимах работы, настройку анализатора, запись градуировочных характеристик масс-спектрометра, установку пороговых значений измеряемой объёмной доли влаги, выдачу сигнализации при нарушении пороговых значений и при ошибках работы, регистрацию результатов измерений. Внешний вид анализатора влажности МКМ-1 представлен на рисунке 1.

В анализаторах влажности МКМ-1 используется встроенное и внешнее программное обеспечение. Встроенное программное обеспечение предназначено для управления анализатором, сбора и обработки сигналов масс-спектрометра, передачи цифровых выходных сигналов, отображения режимов работы и результатов измерений. Внешнее программное обеспечение предназначено для приёма цифровых выходных сигналов, вывода результатов измерений, контроля состояния параметров вакуумных и электронных блоков, контроля пороговых значений, хранения калибровочных коэффициентов.

Версия встроенного программного обеспечения анализатора указывается на шильде на внутренней стороне корпуса. Версия внешнего программного обеспечения указывается в разделе меню «О программе. ».

Влияние программного обеспечения на метрологические характеристики анализаторов влажности учтено при нормировании метрологических характеристик. Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Таблица 1. Идентификационные данные программного обеспечения

Технические характеристики

1. Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.

Таблица 2

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус анализатора в виде надписи на закрепленной на корпусе металлической или пластиковой пластине.

Комплектность

Комплект поставки анализатора влажности МКМ-1 приведен в таблице 3.

Таблица 3

Поверка

осуществляется по документу МП-242-1528-2013 "Анализаторы влажности МКМ-1. Методика поверки", разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им Д.И. Менделеева" 25 марта 2013 г.

Основные средства поверки:

генератор влажного воздуха HygroGen, номер Госреестра 32405-11, диапазон воспроизведения относительной влажности от 2 до 99 %, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу относительной влажности ±0,5 %, диапазон воспроизведения температуры от 0 до 60 °С, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу температуры ±0,1 °С ;

гигрометр Rotronic модификации HygroPalm, номер Госреестра 26379-10, диапазон измерений относительной влажности от 0 до 100 %, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу относительной влажности ±1 %, диапазон измерений температуры от минус 20 до 60 °С, пределы допускаемой абсолютной погрешности по каналу температуры ±0,1 °С .

Сведения о методах измерений

Методика измерений приведена в руководстве по эксплуатации на анализаторы влажности МКМ-1.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализаторам влажности МКМ-1

1    ГОСТ 8.547-2009 "ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений влажности газов".

2    Техническая документация изготовителя.

Рекомендации к применению

выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.