| Номер в госреестре | 53984-13 |
| Наименование СИ | Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат |
| Обозначение типа СИ | LMS IPRO2 |
| Изготовитель | "Photronics MZD GmbH", Германия |
| Год регистрации | 2013 |
| МПИ (интервал между поверками) | 3 года |
| Описание типа | скачать |
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2 (далее - мера) предназначена для поверки (калибровки) установок измерений координат элементов топологии типа LMS IPRO2.
Мера (рис. 1) представляет собой пластину квадратной формы из синтетического кварца размером 152,4x152,4x6,35 мм, рабочая сторона которой покрыта пленкой хрома с антиотражающим покрытием общей толщиной 10,5 нм. В пленке хрома с помощью метода электронно-лучевой литографии выгравирован рисунок. Рисунок на фотошаблоне включает в себя массив крестообразных фигур (элементов) в количестве 29x29 штук, а также буквенно-цифровую маркировку с надписью NIIIS REGISTRATION STANDARD # 2, расположенную у нижнего края пластины (рис. 2).
Длина линий, образующих крест, составляет 500 мкм по обеим осям, ширина линий
5 мкм. Массив крестов расположен симметрично относительно центра пластины, расстояние между центрами соседних крестов составляет 5000 мкм. Каждый крест в массиве промаркирован двумя числами, первое из которых совпадает с номером строки, а второе - с номером столбца в массиве. Кроме того, в левом нижнем углу фотошаблона есть элемент в виде уголка, служащий для определения ориентации фотошаблона в процессе поверки (калибровки) LMS IPRO2. Все указанные выше элементы представляют собой окна, вытравленные в пленке хрома.
Мера хранится в закрытом футляре и используется по назначению в чистых помещениях.
Внешний вид меры в открытой упаковке и нанесенный массив крестообразных фигур на поверхности меры приведены на рисунках 1 - 3.
Фи1уры для измерения координат (15x12)
| У | 0 | Д ■ |
| ■э • | Q | © - |
| э * | Ф | ■э ■ |
| у *■ | 0 | ■3 ’ |
| 0 - | 0 | г ■ |
| 0 - | 0 | £ > |
| 0 * | П | £, . |
е
&
0
0
0
э
0
0
У
О
| 0 | - © | С | 0 |
| г | |||
| 0 | - 0 | 0 | О |
| 0 | , й | 0 | 0 |
| 0 | - Q | 0 | 0 |
| 0 | - 0 | 0 | О |
| О | * е | э | 0 |
| 0 | ■ 0 | ОУ | 0 |
| 0 | - Ф | 0 | о |
| а | < 0 | а | н |
| а | • -0 | 0 | 0 |
| 0 | ■ е | Ф | я |
| О | ■ G | О | е |
| 0 | - 0 | Э | & |
| 0 | ■ © | 0 | а |
0 * G
0 - 0
0 - 0
0 - О
0 - 0
И ‘ 0
© • 0
0-0
0 ■ 0 а - 0
г - о
е - ф 0 о
О -9- ■
о
0
0
0
0
0
С] - 0
0 - 0
0
е
Ё
Ъ,.
0-0 TANOAHD ¥2
W
0
0
0-
| О | 0 | © | 0 | 0 | а | 0 |
| © | 0 | 0 | 0 | 3 | 0 | |
| 0 | £ | 0 | 0 | а | 0 | 0 |
| 0 | 0 | © | 0 | Ф | 0 | 0 |
| 0 | 0 | 0 | Ф | ■э | 0 | 0 |
| 0 | 3 | 0 | 0 | э | 0 | 0 |
ь - а о 0
0 Ф - о
0 ■ 0 ' и
NlllS
* а - 0 ■
R-CGIETRAT10M !
2,7
1-13,76 '
15Z‘U\?e
Рисунок 3 - Измеряемый массив фигур
Основные метрологические и технические характеристики меры приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон номинальных значений координат элементов меры | от 5 мкм до 140 мм |
| Допустимое отклонение координат элементов меры от номинальных значений, нм | ± 150 |
| Ширина линии элемента меры, мкм | 5 |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | 152,4x152,4x6,35 |
| Масса, г, не более | 200 |
| Рабочий диапазон температуры, °С | 20 ± 0,5 |
| Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % | от 40 до 65 |
| Атмосферное давление, кПа | от 84 до 106 |
наносится на лицевую панель укладочного футляра меры в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений Комплект поставки включает:
- мера в укладочном ящике - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации (Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Паспорт; Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
- методика поверки - 1 шт.
осуществляется по документу МП 53984-13 «Инструкция. Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 18.12.2012 г.
Основные средства поверки:
- стандартный образец - 6-дюймовая маска на кварцевом стекле, изготовитель ф. Leica Microsystems Lithоgraphy Gmbh, Jena, Германия (сертификат калибровки РТВ), диапазон номинальных значений координат элементов стандартного образца (140x140) мм, значения координат элементов стандартного образца определены в РТВ с расширенной неопределенностью (при коэффициенте охвата k = 2) U = 15 нм;
- установка измерительная LEICA LMS IPRO (сертификат калибровки РТВ или лаборатории, аккредитованной в DKD), диапазон измерений координат элементов от 5 мкм до 204 мм, расширенная неопределенность (при коэффициенте охвата k = 2) измерений координат элементов U = 35 нм;
- микроскоп электронный растровый S-4800 (регистрационный номер 50413-12), диапазон измерений линейных размеров от 2 нм до 100 нм с пределами допускаемой погрешности измерений ± (0,01- 0,03) %.
Мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере:
Документация изготовителя LMS IPRO2 - Acceptance Test_V1-2 2010-07-19.
Применяется для передачи единицы длины при поверке установок измерений координат типа LMS IPRO2.
| Зарегистрировано поверок | 8 |
| Поверителей | 3 |
| Актуальность данных | 18.09.2024 |
