Главная Госреестр СИ Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25

Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25, 55118-13

Документы

Карточка СИ

Номер в госреестре	55118-13
Наименование СИ	Микроскоп сканирующий электронный
Обозначение типа СИ	EVO MA25
Изготовитель	"Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Год регистрации	2013
МПИ (интервал между поверками)	6 месяцев
Описание типа	скачать

Назначение

Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25 предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Описание

Принцип работы микроскопа сканирующего электронного EVO MA25 (далее по тексту

- микроскоп) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.

Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т. е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Микроскоп укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.

Микроскоп оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.

Программное обеспечение

Микроскоп имеет автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений.

Идентификационные данные метрологически значимой части программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1_

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификацио нный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

SmartSEM

5.06

7B1EE57BEE2FF061

4EF5F8822FB71632

MD5

Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «С». Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа.

Технические характеристики

Таблица 2

Наименование характеристики	Значение характеристики
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель	2,65 - 19531
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм	50
Диапазон измерений линейных размеров, нм	20 - 2106

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм	±(4+0,05L*)
Диапазон регулирования увеличения, крат	5-1000000
Номинальное напряжение сети питания, В	220 ± 5 %
Масса, кг, не более	650
Габаритные размеры, мм, не более	980x774x1700
Условия эксплуатации: Температура окружающего воздуха, °С Относительная влажность воздуха при 25°С, % Избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па	22 ± 0,2 40 ± 2 30 ± 0,3
* - L - длина измеряемого объекта, нм

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 3

Наименование	Количество, шт
Микроскоп электронный сканирующий EVO MA25	1
Компьютер с сетевым источником питания	1
Дисплей	1
Клавиатура	1
Манипулятор «мышь»	1
Руководство по эксплуатации	1
Методика поверки МП 77. Д4-13	1

Поверка

осуществляется по документу МП 77.Д4-13 «Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 30 августа 2013 г.

Основные средства поверки:

Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К. Основные метрологические характеристики:

Наименование метрологических характеристик

Номинальное значение, нм

Погрешность,

нм

Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм.

2001

±2

Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм.

597

±2

Сведения о методах измерений

Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Руководство по эксплуатации раздел 2.2.4.

Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопу сканирующему электронному EVO MA25

ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.