| Номер в госреестре | 59432-14 |
| Наименование СИ | Стенды измерительные для СБИС |
| Обозначение типа СИ | Verigy V93000 Pin Scale 1600 |
| Изготовитель | Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия |
| Год регистрации | 2014 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 предназначены для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Принцип работы стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов Pin Scale 1600 (PS1600) в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов PS1600 в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнены в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 имеют два варианта исполнения измерительного головного блока: ATH (A-test head) и CTH (Compact test head). Внешний вид стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 в исполнениях ATH и CTH представлен на рисунке ниже.
Манипулятор
СТН
АТН
Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
В состав измерительного головного блока в зависимости от варианта исполнения входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 8 и 16 шт., всего до 1024 и 2048 универсальных измерительных каналов соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются высоковольтный драйвер и два высоковольтных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий АЦП BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
- платы источников питания MS DPS (E9711A/B) в зависимости от конфигурации 4-х или 8-ми канальные, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
- платы источников питания DCS DPS32 (E8013CS) 32-х канальные, максимальное количество 8 и 16 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН.
По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.
уровень защиты (класс риска) идентификационное наименование идентификационный номер версии «низкий» по Р50.2.077-2014 (класс А по WELMEC 7.2)
SmarTest
7.1.4.12 и выше
| диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности | от 2,5 до 31250 нс |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | ± 15 • 10-6^Т |
| диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс | от минус 4-Т до + 12-Т |
| крайние значения временных меток | минус 6,3 мкс; + 19 мкс |
| разрешение временных меток | 1 пс |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8 | ± 150 пс |
| максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов д при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) | эайвера 0,6 нс 0,7 нс |
| при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,8 нс |
| минимальная длительность выходных импульсов драйвера | |
| при амплитуде 1,0 В при амплитуде 1,8 В при амплитуде 3,0 В | 0,7 нс 0,8 нс 0,9 нс |
| максимальная длительность фронта выходных импульсов высоковольтного драйвера | |
| при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 9 нс |
| при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 250 нс |
| максимальная длительность спада выходных импульсов высоковол при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | ьтного драйвера 10,5 нс 30 нс |
| диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера | от минус 1,5 до + 6,5 В |
| разрешение уровней напряжения драйвера | 1 мВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера | ± 5 мВ |
| выходное сопротивление драйвера | от 47,5 до 52,5 Ом |
| диапазон воспроизводимых уровней напряжения высоковольтного драйвера | |
| диапазон VIL/VIH | от 0,0 до + 6,5 В |
| диапазон VHH | от + 6,0 до + 13,4 В |
| разрешение уровней напряжения высоковольтного драйвера | 1 мВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения высоковольтного драйвера | ± 15 мВ |
| выходное сопротивление высоковольтного драйвера | |
| при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В | от 45 до 55 Ом |
| при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В | максимум 10 Ом |
| диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора | от минус 1,5 до + 6,5 В |
| разрешение уровней напряжения компаратора | 1 мВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором | ± 15 мВ |
| диапазон установки уровней напряжения высоковольтного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах высоковольтного компаратора | от минус 3,0 до + 13,4 В |
| разрешение уровней напряжения высоковольтного компаратора | 1 мВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения высоковольтным компаратором | |
| при уровнях напряжения от 0 до 8 В | ± 20 мВ |
| при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В | ± 50 мВ |
| диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора | от минус 1,5 до + 6,5 В |
| диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора | от минус 1,0 до + 1,0 В |
| разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора | 1 мВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором | ± 15 мВ |
| диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | от минус 25 до + 25 мА |
| разрешение силы тока активной нагрузки | 12,5 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА | ± (110-2 •I + 75 мкА) |
| диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | |
| при силе тока в пределах ± 1 мА | от минус 1,5 до + 6,5 В |
| при силе тока в пределах ± 25 мА | от минус 1,0 до + 5,5 В |
| пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU | |
| при силе тока в пределах ± 1 мА | от минус 2,0 до + 6,5 В |
| при силе тока в пределах ± 40 мА | от минус 2,0 до + 5,75 В |
| разрешение воспроизведения напряжения PMU | 200 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | ± (3 мВ + I R), R — 1 Ом |
| разрешение измерения напряжения PMU | 75 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
| в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В | ± (4 мВ + I R), R — 1 Ом |
| в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В | ± (2 мВ + I R), R = 1 Ом |
| пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | 2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА |
| разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU | |
| на пределе 2 мкА на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА | .......1 нА......................................................................................................................... 5 н Л 50 нЛ |
| на пределе 1 мА | 0,5 мкА |
| на пределе 40 мА | 20 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения с источником-измерителем PMU, нА (мкА) на пределе 2 мкА на пределе 10 мкА | илы тока I : (510 Ч 1 • 40 нА) : (51 о 4 I • 100 нА) |
| на пределе 100 мкА | : (5- КГ'1 • 500 нА) |
| на пределе 1 мА | : (5- КГ'1 • 5 мк.Л) |
| на пределе 40 мА | : (5- КГ'1 • 50 мк.Л) |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
| на пределе 2 мкА | ± (5 -10 I + 10 нА) |
| на пределе 10 мкА | : (5- КГ'1 • 50 н.Л) |
| на пределе 100 мкА | : (5- КГ'1 • 200 нА) |
| на пределе 1 мА | : (5- КГ'1 • 1.25 мк.Л) |
| на пределе 40 мА | : (5- КГ'1 • 50 мк.Л) |
| пределы измерения напряжения АЦП BADC | |
| в стандартном режиме | от минус 3,0 до + 8,0 В |
| в высоковольтном режиме | от минус 6,0 до + 13,4 В |
| разрешение измерения напряжения АЦП BADC | |
| в стандартном режиме | 75 мкВ |
| в высоковольтном режиме | 150 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC | |
| в стандартном режиме | ± 1 мВ |
| в высоковольтном режиме | ± 10 мВ |
| входное сопротивление АЦП BADC | более 100 МОм |
| пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионнь HPPMU подключение через плату PS1600 подключение через разъем UTILITY pogo block | м источником-измерителем от минус 1,5 до + 6 В от минус 5 до + 8 В |
| разрешение воспроизведения и измерения напряжения HPPMU | 250 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
| подключение через плату PS1600 | ± (2 мВ + I R), R — 1 Ом |
| подключение через разъем UTILITY pogo block | ± 2 мВ |
| пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU | 5; 200 мкА; 5; 200 мА |
| разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-на пределе 5 мкА на пределе 200 мкА | измерителем HPPMU .....250 пА............................................................................................................ 6 н А |
| на пределе 5 мА | 250 нА |
| на пределе 200 мА | 6 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU, нА (мкА) | |
| на пределе 5 мкА | |
| при подключении через плату PS1600 | : (110 Ч I • 50 нА) |
| при подключении через разъем UTILITY pogo block | : (11 о 4 I • 10 нА) |
| на пределе 200 мкА | : (11 о 4 I • 200 IIА) |
| на пределе 5 мА | : (11 о 4 I • 10 мкА) |
| на пределе 200 мА | : (11 о 4 I • 200 мкА) |
| пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS | от минус 8 до + 8 В |
| разрешение воспроизведения напряжения MS DPS | 300 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А | |
| в 4-х канальном режиме | ± (1 • 10 -U + 4 мВ + I R), R = 4 мОм |
| в 8-ми канальном режиме | : (1 Ю'Ч, 2 мВ I R). R = 4 мОм |
| максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режим при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В | е от минус 1,5 до + 8,0 А от минус 1,5 до + 4,0 А |
| при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 4,0 до + 1,5 А |
| максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме | |
| при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В | от минус 1,5 до + 4,0 А |
| при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В | от минус 1,5 до + 2,0 А |
| при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 2,0 до + 1,5 А |
| пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS | |
| в 4-х канальном режиме | 100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А |
| в 8-ми канальном режиме | 0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А |
| разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме | |
| на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 10 мА | 5 нА 50 нА ......500 нА............................................................................................................ |
| на пределе 0,3 А | 15 мкА |
| на пределе 8 А | 150 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА) | |
| на пределе 100 мкА | ±(110 -1+ 100 нА) |
| на пределе 1 мА | ±(M0'J-I+ 1 мкА) |
| на пределе 10 мА | : (110 я I • 10 мкА) |
| на пределе 0,3 А | : (110 ' I • 300 мкА) |
| на пределе 8 А | : (110 ' 1 • 20 мА) |
| разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме | |
| на пределе 10 мкА | 500 пА |
| на пределе 100 мкА | 5 нА |
| на пределе 1 мА | 50 нА |
| на пределе 10 мА | 500 нА |
| на пределе 0,3 А | 15 мкА |
| на пределе 4 А | 150 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным | |
| источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА) | |
| на пределе 10 мкА | : (110 ' 1 • 10 IIА) |
| на пределе 100 мкА | : (110 ' 1 • 100 IIА) |
| на пределе 1 мА | : (110 ' 1 • 1 мкА) |
| на пределе 10 мА | : (110 ' 1 • 10 мкА) |
| на пределе 0,3 А | : (110 ' 1 • 300 мкА) |
| на пределе 4 А | : (110 ' 1 • 10 мА) |
| пределы воспроизведения напряжения измерительным | |
| источником питания DCS DPS32 | от 0 до + 7 В |
| разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32 | 200 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения | |
| напряжения измерительным источником питания DCS DPS32 | ± 3 мВ |
| максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32 | |
| при воспроизведении напряжения до + 3,0 В | от минус 1,5 до + 1,5 А |
| при воспроизведении напряжения до + 3,6 В | от минус 1,2 до + 1,2 А |
| при воспроизведении напряжения до + 7,0 В | от минус 0,5 до + 0,5 А |
| пределы измерения силы тока DCS DPS32 | 100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А |
| разрешение измерения силы тока DCS DPS32 | |
| на пределе 100 мкА | 5 нА |
| на пределе 2 мА | 100 нА |
| на пределе 50 мА | 2,5 мкА |
| на пределе 1,5 А | 100 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания DCS DPS32, нА (мкА) | |
| на пределе 100 мкА | ±(М0'Ч+ 100 нА) |
| на пределе 2 мА | : (110 ' 1 • 2 мкА) |
| на пределе 50 мА | : (110 ' 1 • 50 мкА) |
| на пределе 1,5 А | : (110 ' 1 • 1,59 мА) |
| ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
| габаритные размеры головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения (высота х ширина х глубина), мм | |
| АТН | 1850 х 880 х 1920 |
| СТН | 1880 х 1290 х 2270 |
| габаритные размеры установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения | |
| (высота х ширина х глубина), мм | |
| E2760FU | 440х 240 х 650 |
| E2760FAL | 950 х 520 х 870 |
| масса головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения, не более | |
| АТН | 610 кг |
| СТН | 1118 кг |
| масса установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения, не более | |
| E2760FU | 50 кг |
| E2760FAL | 185 кг |
| напряжение питания частотой от 50 Гц | |
| АТН (сеть однофазного тока) | от 200 до 240 В |
| CTH (сеть трехфазного тока) | от 360 до 440 В |
| потребляемая мощность в зависимости от варианта исполнения, не более | |
| АТН | 7 кВ-А |
| СТН | 15 кВ-А |
| температура окружающей среды | от 20 до 30 °С |
| относительная влажность при температуре 30 °С, не более | 70 % |
| электромагнитная совместимость | по ГОСТ Р 51522-99 |
| безопасность | по ГОСТ Р 52319-2005 |
Знак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
| наименование и вариант исполнения | обозначение | кол-во |
| измерительный головной блок | ||
| АТН | Е8015А зав. № MY04600968 | 1 шт. |
| СТН | Е8014А зав. № MY04600777 | 1 шт. |
| манипулятор | ||
| АТН | E6979UC | 1 шт. |
| СТН | E6979LC | 1 шт. |
| установка водяного охлаждения | ||
| АТН | E2760FU | 1 шт. |
| СТН | E2760FAL | 1 шт. |
| программа управляющая | SmarTest | 1 шт. |
| компьютер | HP xw4100 | 1 шт. |
| Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации | 1 шт. | |
| методика поверки | МП 076/551-2014 | 1 шт. |
| программа для поверки | ||
| АТН | PRPOV968 | 1 шт. |
| СТН | PRPOV777 | 1 шт. |
| комплект оснастки для поверки в составе | ||
| устройство согласования | ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) | 1 шт. |
| устройство согласования | ТСКЯ.418133.253 | 1 шт. |
| устройство согласования | ТСКЯ418133.254 (Вер. 1) | 1 шт. |
| устройство согласования | ТСКЯ.418133.256 (Вер.1) | 1 шт. |
| плата коммутационная | Е7010Е | 1 шт. |
| шлюз LAN/GPIB | Agilent Е5810А | 1 шт. |
осуществляется по документу МП 076/551-2014 «Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600», утвержденному ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 28.10.2014 г.
Средства поверки
| наименование | метрологические характеристики |
| частотомер электронносчетный Agilent 53132А с опциями 012 и 030 | абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне от 0,33 нс до 10 с не более ± 4- 10-9-Т |
| осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А | абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,5 10-6-Т + 6 пс) |
| мультиметр цифровой Keithley 2000 | абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах 10 В не более ± (3 10-5U + 50 мкВ) 100 В не более ± (4,5 10-5U + 0,6 мВ) |
| калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 | абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе 20 В не более ± (2 - 10'4 U + 2,4 мВ) |
| абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,3 • 10-4I + 0,7 нА) 100 мкА не более ± (3,110-4I + 6 нА) 1 мА не более ± (3,4-10-4 • I + 60 нА) 100 мА не более ± (6,6- 10'4Т + 6 мкА) | |
| абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,3 10-4I + 2 нА) 100 мкА не более ± (3,110-4I + 20 нА) 1 мА не более ± (3,4- 10-4I + 200 нА) 100 мА не более ± (6,6- 10-4I + 20 мкА) | |
| мультиметр Agilent 3458А | абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (1010-6I + 7 пА) 100 мкА не более ± (10-10-6 • I + 0,6 нА) 1 мА не более ± (10 10-6 • I + 4 нА) 10 мА не более ± (10 10-6 • I + 40 нА) 1 А не более ± (1010-5I + 10 мкА) |
| калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А | абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах 5 А не более ± (8-10-4Т + 3,5 мА) 10 А не более ± (1,5• 10-3 I + 6 мА) |
| калибратор универсальный Fluke 9100 | абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах 320 мА не более ± (1,6^ 10-4 • I + 9,6 мкА) 3,2 А не более ± (6^ 10-4I + 118 мкА) 10,5 А не более ± (5,510-4I + 0,94 мА) |
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 10-16 ^ 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
Выполнение работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
| Зарегистрировано поверок | 32 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 16.11.2024 |
