Датчики давления мембранно-емкостные Baratron 722, 60668-15

Назначение

Датчики давления мембранно-емкостные Baratron 722 (далее по тексту - датчики) предназначены для измерений и преобразований абсолютного давления газов в унифицированный выходной сигнал напряжения.

Описание

Принцип действия датчиков основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.

С опорной стороны мембраны находится вакуумированный объем, откачанный до остаточного давления, не превышающего разрешающей способности датчика, которое поддерживается в течение длительного времени геттером (газопоглотителем). На другую сторону мембраны подается измеряемое давление, вызывающее деформацию мембраны, которая приводит к изменению электрической емкости между мембраной и электродами, расположенными в вакуумированном объеме. Емкость включена в одно из плеч мостовой схемы, работающей в режиме с фиксированной частотой и постоянной амплитудой. Изменение емкости, вызываемое давлением, нарушает баланс мостовой схемы. При этом электрический сигнал переменного тока разбаланса моста, пропорциональный измеряемому давлению, поступает в блок обработки электрических сигналов для обеспечения температурной компенсации, усиления и преобразования в выходной сигнал напряжения постоянного тока. Для электропитания датчиков применяют независимые источники питания постоянного тока, а для контроля результатов измерений - цифровой вольтметр или аналогоцифровой преобразователь. Для управления работой датчиков и цифрового контроля результатов измерений допускается использовать контроллер давления MKS Instruments или источник питания/индикации модификации 146, 660 либо PDR производства MKS Instruments.

Внешний вид датчиков приведен на рисунке 1.

Технические характеристики

Основные технические характеристики вакуумметров приведены в таблице 1.

Таблица 1

Условия эксплуатации:

•    диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С    от 15 до 35

•    относительная влажность воздуха без конденсации влаги, %, не более 80

•    атмосферное давление, кПа    от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится фотохимическим или другим способом на корпус датчика и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

Датчик давления мембранно-емкостной Baratron 722 Соединительный кабель (для подключения к измерительному блоку)

1 шт. 1 шт. 1 экз.

Руководство по эксплуатации

Поверка

осуществляется по методике поверки МИ 1997-89 «Рекомендация ГСИ. Преобразователи давления измерительные. Методика поверки».

Основными средствами измерений являются:

-    манометр абсолютного давления МПАК-15, диапазон измерений от 0,133 до 400 кПа, пределы допускаемой основной погрешности ±6,65 Па в диапазоне от 13,3 до 133 кПа; ±0,01 % ИВ в диапазоне от 133 до 400 кПа;

-    калибратор давления DPI 610 c ВПИ 0,7 МПа, пределы допускаемой основной приведенной погрешности ±0,025 % .

Сведения о методах измерений

Сведения о методе измерений приведены в руководстве по эксплуатации на датчик давления мембранно-емкостный Baratron 722.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к датчикам давления мембранно-емкостным Baratron 722

1    ГОСТ 22520-85 «Датчики давления, разрежения и разности давлений с электрическими аналоговыми выходными сигналами ГСП»

2    ГОСТ Р 8.840-2013 «ГСИ. Государственная поверочная схема для СИ абсолютного давления в диапазоне 1-10-1-1-106 Па».

3    Техническая документация компании «MKS Instruments, Inc.-PFMCA Products Group», США.

Рекомендации к применению

выполнение работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством РФ о техническом регулировании.