Государственный реестр средств измерений

Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA), 60731-15

60731-15
Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Карточка СИ
Номер в госреестре 60731-15
Наименование СИ Микроскопы электронные растровые
Обозначение типа СИ JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA)
Изготовитель "JEOL Ltd.", Япония
Год регистрации 2015
Срок свидетельства 21.05.2020
МПИ (интервал между поверками) 1 год
Стоимость поверки Узнать стоимость
Описание типа скачать
Методика поверки скачать

Назначение

Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Описание

Принцип получения изображения в микроскопах заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором при синхронном с монитором сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопов.

В состав микроскопов входят электронно-оптическая система (колонна), камера объектов с механизмом перемещения объектов, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумная система, видеоконтрольное устройство, блок питания.

Микроскопы обеспечивают работу в режимах регистрации вторичных и обратно рассеянных электронов.

Стандартный режим работы микроскопов - режим высокого вакуума (остаточное давление в камере образцов от 1,3 • 10-4 до 1,3 • 10-3 Па). В ряде модификаций предусмотрен режим низкого вакуума (остаточное давление в камере образцов от 10 до 100 Па). Некоторые модификации могут быть оснащены встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС) и (или) рентгеновским спектрометром с дисперсией по длине волны.

Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.

Отличие модификаций:

-    JSM IT300 - работает только в режиме высокого вакуума;

-    JSM IT300A - работает только в режиме высокого вакуума и комплектуется встроенным ЭДС (возможна опция со спектрометром с дисперсией по длине волны);

-    JSM IT300LV - работает как в режиме высокого так и низкого вакуума;

-    JSM IT300LA - работает как в режиме высокого так и низкого вакуума и комплектуются встроенным ЭДС (возможна опция со спектрометром с дисперсией по длине волны);

При работе микроскопов обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопов не превышает 1 мкЗв/ч.

Внешний вид микроскопов приведен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов JSM IT300x.

Программное обеспечение

Управление микроскопами осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатора ПО

IT300 GUI

SemMain.exe

ver. 2.0

955CЕDЕ128AC51177367471

4030DЕ71BD2F9D4C75B286

3554A76879CЕ82F6F1B

По ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики микроскопов для всех модификаций приведены в таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

характеристики

Пространственное разрешение в режиме регистрации вторичных электронов (высокий вакуум) при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм, не более

3

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,03 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %

± 10

Габаритные размеры (ширинахвысотахглубина), мм, не более:

-    консоль с колонной и вакуумной системой

-    видеоконтрольный блок

750x1000x1400

800x1200x800

Масса (без ЗИП и упаковки), кг, не более

360

Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С

от 15 до 27

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50/60 ± 1) Гц, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, В А, не более

2500

Рабочие условия эксплуатации:

-    температура окружающей среды, °С

-    относительная влажность воздуха при температуре, %, не более

-    атмосферное давление, кПа

от 15 до 27 60

от 84 до 107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый IT300x, комплект ЗИП, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 60731-15 «Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) фирмы JEOL Ltd., Япония. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 06 апреля 2015 г.

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр № 33598-06), островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM 1501.

Сведения о методах измерений

Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA). Руководство по эксплуатации.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA)

Техническая документация фирмы-изготовителя.

60731-15
Номер в ГРСИ РФ:
60731-15
Производитель / заявитель:
"JEOL Ltd.", Япония
Год регистрации:
2015
Cрок действия реестра:
21.05.2020
Похожие СИ
84447-22
84447-22
2022
Общество с ограниченной ответственностью "Восток-7" (ООО "Восток-7"), г. Москва
Срок действия реестра: 24.01.2027
84445-22
84445-22
2022
Общество с ограниченной ответственностью "НТ-МДТ" (ООО "НТ-МДТ"), г. Москва, г. Зеленоград
Срок действия реестра: 24.01.2027
84441-22
84441-22
2022
Thermo Fisher Scientific, Нидерланды
Срок действия реестра: 24.01.2027
86402-22
86402-22
2022
"Thermo Fisher Scientific", Нидерланды
Срок действия реестра: 16.08.2027
81247-21
81247-21
2021
Thermo Fisher Scientific, США
Срок действия реестра: 15.03.2026
82381-21
82381-21
2021
Общество с ограниченной ответственностью "ФОДИС" (ООО "ФОДИС"), Московская обл., г. Королев
Срок действия реестра: 28.07.2026
83645-21
83645-21
2021
TESCAN Brno s.r.o., Чешская Республика
Срок действия реестра: 11.11.2026
84113-21
84113-21
2021
Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o., Чешская Республика
Срок действия реестра: 16.12.2026
78538-20
78538-20
2020
"OLYMPUS Corporation", Япония
Срок действия реестра: 29.06.2025
79845-20
79845-20
2020
Walter Uhl technische Mikroskopie GmbH & Co.KG, Германия
Срок действия реестра: 27.11.2025