| Номер в госреестре | 61075-15 |
| Наименование СИ | Стенд измерительный для СБИС |
| Обозначение типа СИ | Verigy V93000 Pin Scale 1600 |
| Изготовитель | Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия |
| Год регистрации | 2015 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 (далее по тексту - стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнен в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда представлен на рисунке 1.
место размещения знака утверждения типа и знака поверки Рисунок 1 - Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 16 шт., всего до 2048 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 2 шт.;
- 8-ми канальные платы источников питания MS DPS (E9711A/B), максимальное количество 2 шт.;
- 32-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS32 (E8013CS), максимальное количество 16 шт.
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «низкий» по Р50.2.077-2014, класс риска “A” по WELMEC 7.2, Issue 5.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| идентификационное наименование | SmarTest |
| идентификационный номер версии | 7.1.4.12 и выше |
Метрологические и технические характеристики стенда представлены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение х-ки |
| 1 | 2 |
| диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | от 2,5 до 31250 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | ± 15 • 10-6^Т |
| диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс | от минус 4-Т до + 12-Т |
| крайние значения временных меток, мкс | минус 6,3; + 19 |
| разрешение временных меток, пс | 1 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8, пс | ± 150 |
| максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов д | зайвера, нс |
| при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,6 |
| при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,7 |
| при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,8 |
| 1 | 2 |
| минимальная длительность выходных импульсов драйвера, не | |
| при амплитуде 1,0 В | 0,7 |
| при амплитуде 1,8 В | 0,8 |
| при амплитуде 3,0 В | 0,9 |
| максимальная длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, не | |
| при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 9 |
| при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 250 |
| максимальная длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, не | |
| при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 10,5 |
| при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 30 |
| диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В | от минус 1,5 до + 6,5 |
| разрешение уровней напряжения драйвера, мВ | 1 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ | ± 5 |
| выходное сопротивление драйвера, Ом | от 47,5 до 52,5 |
| диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В | |
| диапазон VIL/VIH | от 0,0 до + 6,5 |
| диапазон VHH | от + 6,0 до + 13,4 |
| разрешение уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ | 1 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ | ± 15 |
| выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом | |
| при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В | от 45 до 55 |
| при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В, не более | 10 |
| диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В | от минус 1,5 до + 6,5 |
| разрешение по напряжению компаратора, мВ | 1 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ | ± 15 |
| диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В | от минус 3,0 до + 13,4 |
| разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ | 1 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ | |
| при уровнях напряжения от 0 до 8 В | ±20 |
| при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В | ± 50 |
| диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В | от минус 1,5 до + 6,5 |
| диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В | от минус 1,0 до + 1,0 |
| разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора, мВ | 1 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ | ± 15 |
| 1 | 2 |
| диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мА (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | от минус 25 до + 25 |
| разрешение силы тока активной нагрузки, мкА | 12,5 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА | ± (110-2 •I + 75 мкА) |
| диапазон напряжения переключения, изменяющего направление то при силе тока в пределах ± 1 мА при силе тока в пределах ± 25 мА | ка в нагрузке, В от минус 1,5 до + 6,5 от минус 1,0 до + 5,5 |
| пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В | |
| при силе тока в пределах ± 1 мА | от минус 2,0 до + 6,5 |
| при силе тока в пределах ± 40 мА | от минус 2,0 до + 5,75 |
| разрешение воспроизведения напряжения PMU, мкВ | 200 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | ± (3 мВ + I R), R = 1 Ом |
| разрешение измерения напряжения PMU, мкВ | 75 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряж измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В | ения U источником- ± (4 мВ + I R), R = 1 Ом ± (2 мВ + IR), R = 1 Ом |
| пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | 2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА |
| разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU | |
| на пределе 2 мкА | 1 нА |
| на пределе 10 мкА | 5 нА |
| на пределе 100 мкА | 50 нА |
| на пределе 1 мА | 0,5 мкА |
| на пределе 40 мА | 20 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
| на пределе 2 мкА | ± (510 1 + 40 нА) |
| на пределе 10 мкА | : (510 Ч I • 100 нА) |
| на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 40 мА | : (510 Ч I • 500 нА) : (5-Ю'Ч • 5 мкА) : (51 о 4 1 • 50 мк.Л) |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
| на пределе 2 мкА | ± (510 1 + 10 нА) |
| на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА на пределе 1 мА | : (51 о 4 1 • 50 н.Л) : (510 Ч 1 • 200 нА) : (51 о 4 1 • 1.25 мк.Л) |
| на пределе 40 мА | : (51 о 4 I • 50 мк.Л) |
| пределы измерения напряжения АЦП BADC, В | |
| в стандартном режиме | от минус 3,0 до + 8,0 |
| в широкодиапазонном режиме | от минус 6,0 до + 13,4 |
| 1 | 2 |
| разрешение измерения напряжения АЦП BADC, мкВ | |
| в стандартном режиме | 75 |
| в широкодиапазонном режиме | 150 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC, мВ | |
| в стандартном режиме | ± 1 |
| в широкодиапазонном режиме | ± 10 |
| входное сопротивление АЦП BADC, МОм | более 100 |
| пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионным источником-измерителем HPPMU, В | |
| подключение через плату PS1600 | от минус 1,5 до + 6 |
| подключение через разъем UTILITY pogo block | от минус 5 до + 8 |
| разрешение воспроизведения и измерения напряжения HPPMU, мкВ | 250 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
| подключение через плату PS1600 | ± (2 мВ + I R), R — 1 Ом |
| подключение через разъем UTILITY pogo block | ± 2 мВ |
| пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU | 5; 200 мкА; 5; 200 мА |
| разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU | |
| на пределе 5 мкА | 250 пА |
| на пределе 200 мкА | 6 нА |
| на пределе 5 мА | 250 нА |
| на пределе 200 мА | 6 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU, нА (мкА) | |
| на пределе 5 мкА, подключение через плату PS1600 | ± (1 Ю Т + 50 нА) |
| на пределе 5 мкА, подкл. через разъем UTILITY pogo block | : (110 Ч I • 10 нА) |
| на пределе 200 мкА | : (11 о 4 I • 200 IIА) |
| на пределе 5 мА | : (11 о 4 I • 10 мкА) |
| на пределе 200 мА | : (11 о 4 I • 200 мкА) |
| пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS, В | от минус 8 до + 8 |
| разрешение воспроизведения напряжения MS DPS, мкВ | 300 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А | |
| в 4-х канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм | ± (1 • 10 -U + 4 мВ + I R) |
| в 8-ми канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм | : (1 Ю'Ч, 2 мВ I R) |
| максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режиме, А | |
| при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 1,5 до + 8,0 от минус 1,5 до + 4,0 от минус 4,0 до + 1,5 |
| максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме, А | |
| при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В | от минус 1,5 до + 4,0 |
| при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В | от минус 1,5 до + 2,0 |
| при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 2,0 до + 1,5 |
| 1 | 2 |
| пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS | |
| в 4-х канальном режиме | 100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А |
| в 8-ми канальном режиме | 0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А |
| разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме | |
| на пределе 100 мкА | 5 нА |
| на пределе 1 мА | 50 нА |
| на пределе 10 мА | 500 нА |
| на пределе 0,3 А | 15 мкА |
| на пределе 8 А | 150 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным | |
| источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА) | |
| на пределе 100 мкА | : (110 Ч I • 100 нА) |
| на пределе 1 мА | : (11 о 4 I • 1 мкА) |
| на пределе 10 мА | : (110 Ч I • 10 МК.Л) |
| на пределе 0,3 А | : (11 о 4 I • 300 мкА) |
| на пределе 8 А | : (11 о 4 I • 20 мА) |
| разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме | |
| на пределе 10 мкА | 500 пА |
| на пределе 100 мкА | 5 нА |
| на пределе 1 мА | 50 нА |
| на пределе 10 мА | 500 нА |
| на пределе 0,3 А | 15 мкА |
| на пределе 4 А | 150 мкА |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным | |
| источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА) | |
| на пределе 10 мкА | : (110 Ч I • 10 н.Л) |
| на пределе 100 мкА | : (11 о 4 I • 100 нА) |
| на пределе 1 мА | : (110 Ч I • 1 мкА) |
| на пределе 10 мА | : (110 Ч I • 10 МК.Л) |
| на пределе 0,3 А | : (11 о 4 I • 300 мкА) |
| на пределе 4 А | : (110 Ч I • 10 М.Л) |
| пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, В | от 0 до + 7 |
| разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32, мкВ | 200 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения | |
| напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, мВ | ± 3 |
| максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32, А | |
| при воспроизведении напряжения до + 3,0 В | от минус 1,5 до + 1,5 |
| при воспроизведении напряжения до + 3,6 В | от минус 1,2 до + 1,2 |
| при воспроизведении напряжения до + 7,0 В | от минус 0,5 до + 0,5 |
| пределы измерения силы тока DCS DPS32 | 100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А |
| разрешение измерения силы тока DCS DPS32 | |
| на пределе 100 мкА | 5 нА |
| на пределе 2 мА | 100 нА |
| на пределе 50 мА | 2,5 мкА |
| на пределе 1,5 А | 100 мкА |
| 1 | 2 |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания DCS DPS32, нА (мкА) | |
| на пределе 100 мкА | ±(110 -1+ 100 нА) |
| на пределе 2 мА | : (11 о 4 I • 2 мк.Л) |
| на пределе 50 мА | : (11 о 4 I • 50 мк.Л) |
| на пределе 1,5 А | : (11 о 4 I • 1.59 м.Л) |
| ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
| габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм | |
| головной блок с манипулятором | 1880 х 1290 х 2270 |
| установка водяного охлаждения | 950 х 520 х 870 |
| масса головного блока с манипулятором, кг, не более | 1118 |
| масса установки водяного охлаждения, кг, не более | 185 |
| напряжение питания (сеть трехфазного тока частотой 50 Гц), В | от 360 до 440 |
| потребляемая мощность, кВ-А | 15 |
| температура окружающей среды, °С | от 20 до 30 |
| относительная влажность при температуре 30 °С, не более | 70 % |
Знак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность стенда представлена в таблице 3.
Таблица 3
| Наименование | Обозначение | Кол-во |
| Измерительный головной блок | Е8014А зав. №MY04601811 | 1 шт. |
| Манипулятор | E6979LC зав. №2301.384219 | 1 шт. |
| У становка водяного охлаждения | E2760FAL зав. № 147296 | 1 шт. |
| Программа управляющая | SmarTest | 1 шт. |
| Компьютер | HP Z620 | 1 шт. |
| Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации | 1 шт. | |
| Методика поверки | МП РТ 090/551-2015 | 1 шт. |
| Программа для поверки | PR_POV_777 | 1 шт. |
| Комплект оснастки для поверки в составе | ||
| устройство согласования | ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) | 1 шт. |
| устройство согласования | ТСКЯ.418133.253 | 1 шт. |
| устройство согласования | ТСКЯ.418133.254 (Вер.1) | 1 шт. |
| устройство согласования | ТСКЯ.418133.256 (Вер.1) | 1 шт. |
| плата коммутационная | Е7010Е | 1 шт. |
| шлюз LAN/GPIB | Agilent Е5810В | 1 шт. |
осуществляется по документу «ГСИ. МП РТ 090/551-2015. Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600», утвержденному руководителем ФБУ «Ростест-Москва»
27.04.2015 г.
Средства поверки указаны в таблице 4.
Таблица 4
| Наименование | Метрологические характеристики |
| частотомер электронносчетный Agilent 53132A с опциями 012 и 030 | абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне от 0,33 нс до 10 с не более ± 4- 10-9-Т |
| осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А | абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,5 10-6-Т + 6 пс) |
| мультиметр цифровой Keithley 2000 | абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах 10 В не более ± (3 10-5U + 50 мкВ) 100 В не более ± (4,5 10-5U + 0,6 мВ) |
| калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 | абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе 20 В не более ± (2 - 10'4 U + 2,4 мВ) |
| абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,3 • 10-4I + 0,7 нА) 100 мкА не более ± (3,110-4I + 6 нА) 1 мА не более ± (3,4-10-4 • I + 60 нА) 100 мА не более ± (6,6-10”4• I + 6 мкА) | |
| абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,3 10-4I + 2 нА) 100 мкА не более ± (3,110-4I + 20 нА) 1 мА не более ± (3,4- 10-4I + 200 нА) 100 мА не более ± (6,6- 10-4I + 20 мкА) | |
| мультиметр Agilent 3458А | абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (1010-6I + 7 пА) 100 мкА не более ± (10-10-6 • I + 0,6 нА) 1 мА не более ± (10 10-6 • I + 4 нА) 10 мА не более ± (10 10-6 • I + 40 нА) 1 А не более ± (1010-5I + 10 мкА) |
| калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А | абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах 5 А не более ± (8^10-4I + 3,5 мА) 10 А не более ± (1,5• 10-3 I + 6 мА) |
| калибратор универсальный Fluke 9100 | абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах 320 мА не более ± (1,6^ 10-4 • I + 9,6 мкА) 3,2 А не более ± (6^ 10-4I + 118 мкА) 10,5 А не более ± (5,510-4I + 0,94 мА) |
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные документы, устанавливающие требования к стенду измерительному для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 10-16 - 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 17.11.2024 |
