| Номер в госреестре | 61934-15 |
| Наименование СИ | Приборы оптические |
| Обозначение типа СИ | µsurf cylinder |
| Изготовитель | "NanoFocus AG", Германия |
| Год регистрации | 2015 |
| Срок свидетельства | 19.10.2021 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Приборы оптические |isurf cylinder (далее - приборы) предназначены для трехмерных бесконтактных измерений линейных размеров.
Принцип действия приборов основан на увеличенном разрешении захвата глубины с помощью использования конфокальной диаграммы в плоскости, оптически сопряженной с фокальной плоскостью объектива.
Конструктивно приборы состоят из гранитного штатива, измерительной головки с объективами, линейного сервопривода по оси Z, светодиодного источника света, вращающейся перфорированной конфокальной диафрагмы, камеры CCD, ручного ЭБ-навигатора и аварийного выключателя.
С помощью ЭБ-навигатора осуществляется перемещение измерительной головки по линейной оси.
В качестве источника света используется светодиод, преимуществами которого являются монохроматичность генерируемого света и малая расходимость пучка света.
Свет от светодиода проходит через диск с точечными отверстиями (Multi-Pinhole-Disc, MPD) и объектив, фокусируется на поверхности образца. С помощью точечного отверстия MPD свет сокращается до фокусной области. Отраженный свет попадает на CCD-камеру. Посредством вращения диска обеспечивается полное сканирование поверхности образца без пробелов.
Результаты сканирования поверхности образца передаются на внешний компьютер.
Управление прибором осуществляется посредством внешнего компьютера с программным обеспечением, позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты, передавать результаты измерений на принтер.
Внешний вид прибора представлен на рисунке 1.
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) прибора приведены в таблице 2.
Таблица 2 - Идентификационные данные программного обеспечения_
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | Значение | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | lisoft metrology | lisoft analysis (версии: Standard, Extended, Premium) | lisoft automation (опциотально) |
| Номер версии ПО (идентификационный номер ПО) | V 7.X | V 6.X | V 6.X |
| Цифровой идентификатор ПО | OB9EE59A | E438AD6D | FD40A4AD |
| Другие идентификационные данные (алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО) | CRC32 | CRC32 | CRC32 |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» по Р 50.2.077-2014.
Таблица 3 - Метрологические и технические характеристики
| Наименование характеристики | Значения характеристик Объективы в различных исполнениях | |
| Объектив 320 S | Объектив 800 XS | |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY*, мкм | от 0 до 1900 | от 0 до 4800 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | от 1 до 10 | |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | ± 2 | |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм | ± 0,1 | |
| Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм | от 1 до 250 | |
| Г абаритные размеры (Д х Г х Ш), мм | 2600 х 1450 х 800 | |
| Масса, кг, не более - конфо^льный поверхностный дaтчик |isurf - плaтформa из мaссивного твердого гамня | 15 400 | |
| Электропитание: - напряжение, В - частота, Гц | 230 от 50 до 60 | |
| Условия эксплуатации: о/~' - температура окружающего воздуха, С - относительная влажность воздуха, %, не более | от 15 до 30 80 (без конденсaции) | |
| Средний срок службы, лет, не менее | 8 | |
* - диапазон измерений линейных размеров можно расширить за пределы размеров одного кадра с помощью функции совмещения (Stitching).
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на лицевую панель прибора в виде наклейки.
Комплектность средства измерений приведена в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений_
| Наименование | Количество, шт. |
| Измерительная платформа из массивного твердого камня | 1 |
| Измерительная головка с объективами и моторизированной осью Z | 1 |
| Держатель эталонов | 1 |
| Ручной 3D - навигатор | 1 |
| Персональный компьютер | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Руководство по программному обеспечению | 1 |
| Методика поверки МП 103-251-2014 | 1 |
осуществляется по документу МП 103-251-2014 «ГСИ. Приборы оптические |isurf cylinder. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ» 22 января 2015 г.
Основные средства поверки:
- объект-микрометр ОМО, диапазон измерений от 0 до 1 мм, пределы допускаемой абсолютной погрешности ± 1 мкм;
- государственный эталон единицы длины 2-го разряда в диапазоне значений от 0,9 до
10 мкм по ГОСТ Р 8.763-2011 (мера рельефная, представляющая собой совокупность трех групп рельефных структур в виде пазов различной глубины);
- набор концевых мер длины плоскопараллельных, от 0,5 до 100 мм, 4 разряда, класса точности
2.
Методика измерений представлена в руководстве по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к приборам оптическим ^surf cylinder
Техническая документация фирмы изготовителя NanoFocus AG, Германия.
