| Номер в госреестре | 62326-15 |
| Наименование СИ | Установка измерений координат |
| Обозначение типа СИ | LMS IPRO2 |
| Изготовитель | "KLA-Tencor MIE GmbH", Германия |
| Год регистрации | 2015 |
| МПИ (интервал между поверками) | 3 года |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Установка измерений координат LMS IPRO2 (далее - установка) предназначена для измерений координат местоположения и критических размеров линейных топологических элементов фотошаблонов.
Принцип действия установки основан на оценке профиля интенсивности проходящего или отраженного от поверхности измеряемого образца света и измерений координат краев элементов топологии фотошаблона с целью последующего определения местоположения (координаты X и Y) элементов на фотошаблоне, а также их линейных геометрических (критических) размеров.
Перед проведением измерений с помощью специального калибровочного набора мер (фотошаблонов) в установке формируется эталонная сетка, координаты узлов которой сохраняются в базе данных установки. Одновременно сохраняется информация о калибровочных поправках координатной сетки при измерениях координат и критических размеров элементов топологии фотошаблонов. В процессе измерений осуществляется привязка измеряемых координат элементов фотошаблонов к эталонной сетке с учетом калибровочных поправок, что позволяет исключить систематическую погрешность измерений.
Установка представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входят измерительная система, электронные стойки, камеры поддержания климата и обеспыливания и управляющая ПЭВМ.
Конструктивно установка выполнена в виде шкафа. Органы управления расположены на передней панели шкафа стойки. Внешний вид установки приведен на рисунке 1.
1 2 3/4
!есто пломбировки от несанкционированного доступа. **Место для размещения наклеек
Программное обеспечение (ПО) установки является специализированным ПО и представляет собой программный продукт управления пользователя с набором микрокоманд LMS IPRO 2 Job Processor (Runjob.exe, версия 6.2.2.38), DEVA LMS Data Evaluation (Deva.exe, версия 6.2.2.38), LMS CD Calibration (CdCalib.exe, версия 6.2.2.38), LmsCorr LMS System Correction (LmsCorr.exe, версия 6.2.2.38).
ПО «LMS IPRO Job processor» предназначено для управления установкой при проведении измерений (не может быть использовано отдельно от установки), «DEVA LMS Data Evaluation» - для обработки результатов измерений, «LMS CD Calibration» - для проведения калибровки критических размеров, «LmsCorr LMS System Correction» - для проведения калибровки координатного стола.
Влияние метрологически значимой части ПО «LMS IPRO Job processor» и «DEVA LMS Data Evaluation» на метрологические характеристики установки не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО «LMS IPRO Job processor» и «DEVA LMS Data Evaluation» указаны в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (иден-тификаци-онный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления иден-тифика-тора ПО |
| Управляющая программа для проведения измерений «LMS IPRO Job processor» | LMS IPRO Job processor | Runjob.exe, 6.2.2.38 | 764072558fc7c3е7 bd75ddf426df6d9a 731ff742fbd5dbf25 1a71593еb1a9593 | ГОСТ Р 34.11-94 |
| Программа обработки результатов измерений «DEVA LMS Data Evaluation» | DEVA LMS Data Evaluation | Deva.exe, 6.2.2.38 | f5079f0484a38е3е7 390ba0b0330fе3fba 8е29еaе4df816724 c8375238238d09 | ГОСТ Р 34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО установки и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО установки LMS IPRO 2 Job Processor (Runjob.exe, версия 6.2.2.38), DEVA LMS Data Evaluation (Deva.exe, версия 6.2.2.38), LMS CD Calibration (CdCalib.exe, версия 6.2.2.38), LmsCorr LMS System Correction (LmsCorr.exe, версия 6.2.2.38) соответствует уровню «Средний» в соответствии с п. 4.5 рекомендации по метрологии РФ Р 50.2.077-2014 «ГСОЕИ. Испытания средств измерений в целях утверждения типа. Проверка защиты программного обеспечения».
Основные метрологические и технические характеристики установки приведены в таблице 2.
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений координат местоположения элементов шаблона, мм | от 0,5 х 10-3 до 150 |
| Диапазон измерений критических размеров элементов шаблона, мм | от 0,8 х10-3 до 150 |
| Среднеквадратическое значение погрешности измерений координат местоположения и критических размеров элементов шаблона, нм | 5 |
| Минимальный размер элемента изолированной линии шаблона при измерениях критических размеров, мкм | 0,8 |
| Минимальный размер элемента изолированной линии шаблона при измерениях местоположения элементов, мкм | 0,5 |
| Краткосрочная (за сутки) стабильность позиционирования измерительной платформы, нм | 3 |
| Долгосрочная (более суток) стабильность позиционирования измерительной платформы, нм | 4 |
| Краткосрочная (за сутки) повторяемость (сходимость) результатов измерений критических размеров элементов на шаблоне, нм | 3 |
| Долгосрочная (более суток) повторяемость (сходимость) результатов измерений критических размеров элементов на шаблоне, нм | 4 |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х толщина) измеряемых шаблонов, мм | 152,4x152,4x6,35 152,4x152,4x3,05 127,0x127,0x2,30 |
| Г абаритные размеры установки (ширина х глубина х высота), мм | 3550x2200x2370 |
| Масса установки, кг, не более | 4390 |
| Напряжение питания, В | 220 ± 10 |
| Потребляемая мощность, Вт | 14000 |
| Рабочий диапазон температуры, °С | от 21 до 23 |
| Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % | от 30 до 50 |
| Атмосферное давление, кПа | от 97 до 105 |
наносится на лицевую панель установки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплект поставки включает:
- установка измерений координат LMS IPRO2 - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации (Установка измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;
- методика поверки - 1 шт.
осуществляется по документу МП 62326-15 «Инструкция. Установка измерений координат LMS IPRO2. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ АО «НИЦПВ» 02.06.2015 г.
Основные средства поверки:
- мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2 (№ госреестра 53984-2013);
- набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов (№ госреестра 60717-15).
Установка измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке измерений координат LMS IPRO2
Техническая документация фирмы-изготовителя.
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 22.11.2024 |
