Государственный реестр средств измерений (ГРСИ)

Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV, 63454-16

Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV (далее - Установка) предназначена для измерений критических размеров элементов на фотошаблонах (CD-измерения).
Карточка СИ
Номер в госреестре 63454-16
Наименование СИ Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов
Обозначение типа СИ MueTec 2010UV
Изготовитель "MueTec GmbH", Германия
Год регистрации 2016
МПИ (интервал между поверками) 3 года
Описание типа скачать
Методика поверки скачать

Назначение

Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV (далее - Установка) предназначена для измерений критических размеров элементов на фотошаблонах (CD-измерения).

Описание

Принцип действия Установки основан на оптическом измерении ширины линий на фотошаблонах. Установка представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входит измерительная система и контроллер управления ПЭВМ.

Перед проведением измерений с помощью специальной калибровочной меры (фотошаблона) в Установке формируется информация о калибровочных поправках при измерениях критических размеров элементов топологии шаблонов, что позволяет исключить систематическую погрешность измерений.

Конструктивно контроллер управления выполнен в виде шкафа на котором расположены органы управления. Внешний вид Установки приведен на рисунке 1.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) Установки является специализированным ПО и представляет собой программный продукт управления пользователя с набором микрокоманд Dialog C Compiler (N418_54j2.exe, версия 5.0.6.0; диалоговое окно «NanoStar»).

ПО Dialog C Compiler (диалоговое окно «NanoStar») предназначено для управления Установкой и не может быть использовано отдельно от установки.

Влияние метрологически значимой части ПО Dialog C Compiler на метрологические характеристики У становки не выходит за пределы согласованного допуска.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО Dialog C Compiler указаны в таблице 1.

Таблица 1

Наименование ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления иден-тифика-тора ПО

Управляющая программа пользователя с набором микрокоманд «NanoStar»

Dialog C Compiler

5.0.6.0

701a88b3bbe3db0c

280c41defcfb9150

6f4acf12d007eeb3f

620040e083a063f

ГОСТ Р 34.11-94

Метрологически значимая часть ПО Установки и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО Установки Dialog C Compiler (N418_54j2.exe, версия 5.0.6.0; диалоговое окно «NanoStar») соответствует уровню «Средний» в соответствии с п. 4.5 рекомендации Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики Установки приведены в таблице 2.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение

характеристики

Диапазон измерений критических размеров элементов фотошаблона, мкм:

-    в режиме «Видимое излучение»

-    в режиме «У Ф-излучение»

от 0,8 до 100,0 от 0,5 до 100,0

Среднеквадратическое значение погрешности измерений критических размеров элементов фотошаблона*, нм

-    в режиме «Видимое излучение»

-    в режиме «У Ф-излучение»

4

3

Минимальный размер элемента измеряемой изолированной линии фотошаблона, мкм:

-    в режиме «Видимое излучение»

-    в режиме «У Ф-излучение»

0,8

0,5

Г абаритные типоразмеры (длина х ширина ^толщина) измеряемых фотошаблонов, мм

152,4x152,4x6,35

127,0x127,0x3,05

127,0x127,0x2,30

Наименование характеристики

Значение

характеристики

Область перемещения координатного стола измерительной платформы (X*Y), мм:

-    для фотошаблона 152,4*152,4*6,35

-    для фотошаблона 127,0*127,0*3,05

-    для фотошаблона 127,0*127,0*2,30

150*150

150*150

125*125

Г абаритные размеры установки (ширина * глубина * высота), мм

1500*1200*1800

Масса, кг

602

Напряжение питания частотой 50 Гц, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, кВ • А, не более

1,6

Рабочий диапазон температуры, °С

от 18 до 25

Относительная влажность воздуха при температуре 18 - 25 °С, %, не более

75

Рабочее давление воздуха, гПа

5500± 500

Вакуум централизованный, гПа

минус 950 ± 50

* Среднеквадратическое значение погрешности измерений критических размеров элементов фотошаблона нормируется в диапазоне от 0,8 до 8 мкм.

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель Установки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки включает:

-    Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV - 1 комплект;

-    комплект эксплуатационной документации (Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Руководство по эксплуатации) - 1 комплект;

-    методика поверки - 1 шт.

Поверка

осуществляется по документу МП 63454-16 «Инструкция. Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ АО «НИЦПВ» 19.06.2015 г.

Основные средства поверки:

-    набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов (№ Госреестра 60717-15).

Сведения о методах измерений

Установка измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV. Руководство по эксплуатации.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке измерений критических размеров элементов фотошаблонов MueTec 2010UV

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Зарегистрировано поверок 2
Поверителей 1
Актуальность данных 02.07.2025
63454-16
Номер в ГРСИ РФ:
63454-16
Производитель / заявитель:
"MueTec GmbH", Германия
Год регистрации:
2016
Похожие СИ
77490-25
77490-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "Термоконт-МК" (ООО "Термоконт-МК"), Московская обл., г. о. Ленинский, г. Видное; Общество с ограниченной ответственностью "ИНКОБО" (ООО "ИНКОБО"), г. Москва
Срок действия реестра: 16.06.2030
95675-25
95675-25
2025
MEATEST spol. s r.o., Чехия
Срок действия реестра: 16.06.2030
95674-25
95674-25
2025
Акционерное общество "ДИАКОН-ДС" (АО "ДИАКОН-ДС"), Московская область, г. Серпухов, г. Пущино
Срок действия реестра: 16.06.2030
95673-25
95673-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "Декаст" (ООО "Декаст"), Московская обл., г. о. Ступино, д. Шматово
Срок действия реестра: 16.06.2030
95672-25
95672-25
2025
UNI-TREND TECHNOLOGY (CHINA) CO., LTD, Китай
Срок действия реестра: 16.06.2030
95671-25
95671-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "Эрствак" (ООО "Эрствак"), г. Москва
Срок действия реестра: 16.06.2030
95669-25
95669-25
2025
Fujian LEAD Automatic Equipment Co., LTD, КНР
Срок действия реестра: 16.06.2030
95668-25
95668-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "МАГМАТЭК" (ООО "МАГМАТЭК"), г. Набережные Челны, Республика Татарстан
Срок действия реестра: 16.06.2030
95667-25
95667-25
2025
Guilin Guanglu Measuring Instrument Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 16.06.2030
95649-25
95649-25
2025
Dynamic Process Equipment, Индия
Срок действия реестра: 09.06.2030