Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400, 63642-16

Назначение

Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400 предназначены для измерения абсолютного давления.

Описание

Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400 выполнены в виде единого корпуса, в котором расположены два датчика: инверсно-магнетронный и Пирани. Датчик инверсно-магнетронный представляет собой разрядную трубку, внутри которой параллельно друг другу расположены катодная пластина на заземлённом потенциале и анод с высоким положительным зарядом. С внешней стороны на разрядной трубке расположены два постоянных магнита и металлических хомут. Датчик Пирани состоит из корпуса, в котором находится нить накаливания, по которой пропускается постоянный ток. Нить накаливания приварена к центру нагревательного элемента, обеспечивает прямое измерение температуры. Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400 имеют аналоговый выходной сигнал, который может быть использован для удаленного отображения и контроля вакуумных систем.

Принцип действия вакуумметров инверсно-магнетронных MPG400 основан на использовании принципа холодной эмиссии и на зависимости теплопроводности разряженного газа от давления.

Технические характеристики

приведены в таблице 1.

Таблица 1

Комплектность

В комплект поставки входит:

-    датчик вакуумный инверсно-магнетронный    1 шт.;

-    кабель    1 шт.;

-    руководство по эксплуатации    1 экз.;

-    методика поверки РТ-МП-2954-443-2016    1 экз.

Поверка

осуществляется по документу РТ-МП-2954-443-2016 «ГСИ. Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400. Методика поверки», утвержденному ФБУ «Ростест-Москва» 25.01.2016 г.

При первичной поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма, а при периодической поверке знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска поверительного клейма и голографической наклейки.

Перечень эталонов, применяемых при поверке:

-    вакуумметр ионизационный образцовый 2-го разряда ВИО-1 с диапазоном измерений от

9    1    7

7-10" до 1-10" Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10 % в диапазоне от 1-10" до 110-1 Па и ± 30 % в диапазоне от 7-10-9 до 1,110-7 Па (Госреестр № 9862-85);

-    установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 c диапазоном измерения абсолютного давления от 1-10- до 1*10 Па, с допускаемой относительной

2    3    5

погрешностью ± 10 % в диапазоне от 1-10" до 110 Па и ± 15 % в диапазоне от 1-10" до

1 • 10-2 Па (Госреестр № 53639-13);

-    калибратор-контроллер давления PPC4 c диапазоном измерения абсолютного давления до 110 кПа, с допускаемой относительной погрешностью ± 0,01 % (Госреестр № 27758-08);

-    мультиметр цифровой 34401А с диапазоном измерения напряжения постоянного тока до

10 В, с относительной погрешностью ± [0,0035 % от измеряемой величины + 0,0005 % от верхнего предела измерений] (Госреестр № 54848-13);

-    источник питания постоянного тока Б5-93, с наибольшим значением напряжения 50 В и с пределами допускаемой погрешности по выходному напряжению: ± (0,001U+0,3) В, в диапазоне до 30 В и ± (0,001U+0,5) В, в диапазоне свыше 30 В (Госреестр № 51394-12).

Сведения о методах измерений

Методика измерений приведена в руководстве по эксплуатации на вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к вакуумметрам инверсно-магнетронным MPG400

1    Техническая документация фирмы INFICON, Лихтенштейн.

2    ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 110-8 ^ 1103 Па;