Комплекс специализированный метрологический СпМК, 64399-16

Назначение

Комплекс специализированный метрологический СпМК (далее СпМК) предназначен для измерений перемещений в диапазоне от 5 10-9 до 1 • 10"6 м.

Описание

Принцип действия СпМК основан на интерференционном методе.

В состав СпМК входят следующие составные части:

-    интерферометр с блоком цифровой обработки МКНД.1.180.005 (ЛИН-01) (далее интерферометр);

-    видеоконтрольное устройство OITEZ DP-M17 (далее видеоконтрольное устройство);

-    наностол в составе:

-    пьезоплатформа P-611.1S;

-    контроллер E-665.SR;

-    программное обеспечение PIMikroMove;

-    стол виброизоляционный АФЕК.301216.006;

-    персональная электронно-вычислительная машина (далее ПЭВМ);

-    программное обеспечение (далее ПО) МКНД.60102-01 в составе:

-    программа LIDM;

-    программа PicoAD.

Интерферометр размещается на столе виброизоляционном и предназначен для измерения перемещений. Для визуализации процесса измерений используется видеоконтрольное устройство.

ПЭВМ, входящая в состав СпМК, представляет собой программный модуль, обеспечивающий выполнение технологического цикла автоматизированной подготовки и ввода настроек, обработки данных, а также формирование отчетной информации. ПЭВМ поставляется с комплектом программного обеспечения.

Для калибровки интерферометра в состав СпМК включен наностол.

Общий вид СпМК представлен на рисунке 1. Внешний вид интерферометра из состава СпМК представлен на рисунке 2.

Программное обеспечение

В состав СпМК входит программное обеспечение LIDM, состоящее из программ LIDM и PicoAD, и программное обеспечение из состава наностола PIMikromove. ПО LIDM предназначено для обработки данных и визуализации результатов измерений. ПО PIMikromove предназначено для управления пьезоплатформой.

ПО соответствует среднему уровню защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1

* - номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице 1.

При нормировании метрологических характеристик было учтено влияние программного обеспечения.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики СпМК представлены в таблице 2.

Таблица 2

О/'ч

-    диапазон температур окружающего воздуха, С

20±5;

65±15; от 86 до 106.

-    диапазон относительной влажности воздуха, %

-    диапазон атмосферного давления, кПа

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

Комплектность СпМК представлена в таблице 3.

Таблица 3

Поверка

осуществляется по документу МП 2511/0009-15 «Комплекс специализированный метрологический СпМК. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в ноябре 2015 г.

Основные средства поверки:

- компаратор лазерный интерференционный для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне № 01 -2010 из состава Г осударственного первичного эталона единицы длины

- метра ГЭТ 2-2010.

Сведения о методах измерений

Методика измерений приведена в документе «Руководство по эксплуатации АФЕК.401143.002 РЭ1», 2015 г..

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к специализированному метрологическому комплексу СпМК

1.    ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».

2.    Технические условия АФЕК.401143.002 ТУ.