Государственный реестр средств измерений

Микроскопы сканирующие электронные EVO 18, 67005-17

67005-17
Микроскопы сканирующие электронные EVO 18 (далее по тексту - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Карточка СИ
Номер в госреестре 67005-17
Наименование СИ Микроскопы сканирующие электронные
Обозначение типа СИ EVO 18
Изготовитель "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Год регистрации 2017
Срок свидетельства 22.03.2022
МПИ (интервал между поверками) 1 год
Стоимость поверки Узнать стоимость
Описание типа скачать
Методика поверки скачать

Назначение

Микроскопы сканирующие электронные EVO 18 (далее по тексту - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Описание

Принцип действия микроскопов основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопами. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.

Микроскопы состоят из камеры для образца, электронно-оптической колонны EVO, статического демпфера, насоса предварительного вакуумирования и персонального компьютера, с помощью которого осуществляется управление микроскопом.

Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т. е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Микроскопы укомплектованы тремя детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектором отраженных электронов.

Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.

Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.

Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.

Программное обеспечение

щ ©

Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть программного обеспечения средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.

Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя.

Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

SmartSEM

Номер версии (идентификационный номер ) ПО

5.09 и выше

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,463 до 100,000

Диапазон показаний линейных размеров, мкм

от 0,020 до 2000,000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %

±5

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон регулирования увеличения, крат

от 5 до 106

Масса, кг, не более

-    Платформа и колонна

-    Статический демпфер

-    Насос предварительного вакуумирования

860

36

25

Г абаритные размеры, (ДхШхВ), мм, не более

-    Платформа и колонна

-    Статический демпфер

-    Насос предварительного вакуумирования

822х980х1783

180х180х160

427х250х290

Параметры электрического питания:

-    напряжение переменного тока, В

-    частота переменного тока, Гц

220±22

50,0±0,5

Потребляемая мощность, кВт

от 2 до 3

Условия эксплуатации:

-    температура окружающей среды, °С

-    относительная влажность воздуха при 25 °С, %, не более

-    избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па

от +22 до +24 65

100±4

Температура хранения, °С

от -10 до +70

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания этикетки.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Количество

Платформа микроскопа сканирующего электронного EVO 18

1 шт.

Колонна микроскопа сканирующего электронного EVO 18

1 шт.

Компьютер с сетевым источником питания

1 шт.

Наименование

Количество

Компьютерный стол

1 шт.

Статический демпфер

1 шт.

Насос предварительного вакуумирования

1 шт.

Программное обеспечение SmartSEM v. 5.09

1 диск

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Методика поверки МП 047.М44-16

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 047.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие электронные EVO 18. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2016 г.

Основные средства поверки:

1    Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 33598-06).

Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм.

Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: не более ±0,05 мкм.

2    Объект-микрометр ОМО (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 590-63).

Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между серединами десяти делений 0,1 мм.

Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных значений:

-    между серединами соседних делений: ±0,001 мм;

-    между серединами десяти делений: ±0,002 мм.

3    Мера периода рельефная S106 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 44966-10).

Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений: 0,463 мкм.

Пределы допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры: ±0,020 мкм. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на заднюю панель прибора, как показано на рисунке 2.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим электронным EVO 18

ГОСТ Р 8.763-2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм

67005-17
Номер в ГРСИ РФ:
67005-17
Производитель / заявитель:
"Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Год регистрации:
2017
Cрок действия реестра:
22.03.2022
Похожие СИ
84447-22
84447-22
2022
Общество с ограниченной ответственностью "Восток-7" (ООО "Восток-7"), г. Москва
Срок действия реестра: 24.01.2027
84445-22
84445-22
2022
Общество с ограниченной ответственностью "НТ-МДТ" (ООО "НТ-МДТ"), г. Москва, г. Зеленоград
Срок действия реестра: 24.01.2027
84441-22
84441-22
2022
Thermo Fisher Scientific, Нидерланды
Срок действия реестра: 24.01.2027
86402-22
86402-22
2022
"Thermo Fisher Scientific", Нидерланды
Срок действия реестра: 16.08.2027
81247-21
81247-21
2021
Thermo Fisher Scientific, США
Срок действия реестра: 15.03.2026
82381-21
82381-21
2021
Общество с ограниченной ответственностью "ФОДИС" (ООО "ФОДИС"), Московская обл., г. Королев
Срок действия реестра: 28.07.2026
83645-21
83645-21
2021
TESCAN Brno s.r.o., Чешская Республика
Срок действия реестра: 11.11.2026
84113-21
84113-21
2021
Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o., Чешская Республика
Срок действия реестра: 16.12.2026
78538-20
78538-20
2020
"OLYMPUS Corporation", Япония
Срок действия реестра: 29.06.2025
79845-20
79845-20
2020
Walter Uhl technische Mikroskopie GmbH & Co.KG, Германия
Срок действия реестра: 27.11.2025