Государственный реестр средств измерений

Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F, 68812-17

68812-17
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F (далее по тексту -установка) предназначена для измерения и воспроизведения параметров (сила постоянного тока, напряжение постоянного тока) на полупроводниковых пластинах.
Карточка СИ
Номер в госреестре 68812-17
Наименование СИ Установка контроля параметров транзисторных структур
Обозначение типа СИ Agilent 4082F
Изготовитель "Keysight Technologies International Japan, Ltd.", Япония
Год регистрации 2017
МПИ (интервал между поверками) 1 год
Описание типа скачать
Методика поверки скачать

Назначение

Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F (далее по тексту -установка) предназначена для измерения и воспроизведения параметров (сила постоянного тока, напряжение постоянного тока) на полупроводниковых пластинах.

Описание

Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F состоит из измерительной стойки и тестового блока (test head), который контактируется к зондовой станции Accretech UF2000. Измерительная стойка состоит из анализатора спектра Agilent E4411B, г.р. № 23670-08, измерителя LCR мод. E4980A, г.р. № 40676-09, цифрового мультиметра 3458A, г.р. № 25900-03, и имеет восемь контрольных блоков питания: 6 блоков со средней мощностью и 2 блока с высокой мощностью (MPSMU или HPSMU). Каждый блок является самокалибрующимся и имеет возможность программной настройки как на воспроизведение силы и напряжения постоянного тока, так и на одновременное измерение силы и напряжения постоянного тока.

Внешний вид установки, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунке 1.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (далее - ПО) выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств установки, а также обработку и документирование измерительной информации.

Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.

Таблица 1 - Характеристики ПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Agilent SPECS for Linux

Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже

3.x

Цифровой идентификатор ПО

-

Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с рекомендациями Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики установки приведены в таблицах 2-3.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение

Воспроизведение и измерение напряжения постоянного тока при использовании блоков

MPSMU или HPSMU

Диапазоны измерений/воспроизведений напряжения постоянного тока, В

от -2 до +2 от -20 до +20 от -40 до +40 от -100 до +100 от -200 до +2001)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности

измерения/воспроизведения

напряжения постоянного тока, В:

-    для диапазона от -2 до +2 В

-    для диапазона от -20 до +20 В

-    для диапазона от -40 до +40 В

-    для диапазона от -100 до +100 В

-    для диапазона от -200 до +200 В

±0,0005- U ±0,002 ±0,0005- U ±0,02 ±0,0005- U ±0,04 ±0,0005- U ±0,8 ±0,0005- U ±0,2

Воспроизведение и измерение силы постоянного тока при использовании MPSMU,

подключенного к портам SMU1 и SMU2

Диапазоны измерения силы постоянного тока, мА

от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 от -0,001 до +0,001 от -0,0001 до +0,0001 от -0,00001 до +0,00001 от -0,000001 до +0,000001

Наименование характеристики

Значение

Диапазоны воспроизведения силы постоянного тока, мА

от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 от -0,001 до +0,001

Пределы допускаемой абсолютной погрешности

измерения силы постоянного тока, мА:

для диапазона от -100 до +100 мА

для диапазона от -10 до +10 мА

для диапазона от -1 до +1 мА

для диапазона от -0,1 до +0,1 мА

для диапазона от -0,01 до +0,01 мА

для диапазона от -0,001 до +0,001 мА

для диапазона от -0,0001 до +0,0001 мА

для диапазона от -0,00001 до +0,00001 мА

для диапазона от -0,000001 до +0,000001 мА

±0,0017изм ±0,3 ±0,0017им ±0,03 ±0,0017изм ±0,003 ±0,0017изм ±0,0003 ±0,0017изм ±0,00003 ±0,0027изм ±0,000003 ±0,0027изм ±0,0000003 ±0,01/изм ±0,00000005 ±0,01-4™ ±0,000000005

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: для диапазона от -100 до +100 мА для диапазона от -10 до +10 мА для диапазона от -1 до +1 мА для диапазона от -0,1 до +0,1 мА для диапазона от -0,01 до +0,01 мА для диапазона от -0,001 до +0,001 мА

±0,0015- 1воспр ±0,3 ±0,0015-1воспр ±0,03 ±0,00157воспр ±0,003 ±0,0015-1воспр ±0,0003 ±0,0015'IвосПр ±0,00003 ±0,003-1воспр ±0,000003

Примечания

1) при использовании блоков HPSMU;

U - измеренное/воспроизводимое значение напряжения постоянного тока; 1изм - измеренное значение силы постоянного тока;

1воспр - воспроизводимое значение силы постоянного тока.

Таблица 3 - Технические характеристики установки

Наименование характеристики

Значение

Г абаритные размеры, (длинахширинахвысота), мм, не более: - измерительная стойка

600x905x1800

- зондовая станция Accretech UF2000

1142x1229x933

Масса, кг, не более:

- измерительная стойка

274

- зондовая станция Accretech UF2000

800

Параметры сети питания переменного тока: - напряжение переменного тока, В

от 180 до 252

- частота переменного тока, Гц

от 48 до 63

Сила потребляемого переменного тока, А, не более

30

Рабочие условия измерений:

- температура окружающего воздуха, °С

от 15 до 30

- относительная влажность воздуха без конденсации %

от 15 до 70

Средняя наработка на отказ, ч

150000

Знак утверждения типа

наносится на панель корпуса установки в виде наклейки и на титульный лист паспорта типографским способом.

Комплектность

Комплектность установки представлена в таблице 4.

Таблица 4

Наименование

Количество

Примечание

Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F, зав. № JP53450165

1 шт.

-

Паспорт

1 экз.

-

Методика поверки

1 экз.

-

Поверка

осуществляется по документу МП 68812-17 «Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F. Методика поверки», утвержденному ООО «ИЦРМ» 23.06.2017 г.

Таблица 5 - Основные средства поверки

Наименование СИ

Регистрационный номер в Федеральном информационном фонде

Мультиметр 3458А

25900-03

Калибратор универсальный 9100

25985-09

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится в свидетельство о поверке или в паспорт.

Сведения о методах измерений

отсутствуют.

Нормативные документы, устанавливающие требования к установке контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F

ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия

ГОСТ 20398.0-83 Транзисторы полевые. Общие требования при измерении электрических параметров

68812-17
Номер в ГРСИ РФ:
68812-17
Производитель / заявитель:
"Keysight Technologies International Japan, Ltd.", Япония
Год регистрации:
2017
Похожие СИ
93725-24
93725-24
2024
Общество с ограниченной ответственностью "ЭлМетро Групп" (ООО "ЭлМетро Групп"), г. Челябинск
Срок действия реестра: 15.11.2029
93726-24
93726-24
2024
Общество с ограниченной ответственностью "Форт-Телеком" (ООО "Форт-Телеком"), г. Пермь
Срок действия реестра: 15.11.2029
93727-24
93727-24
2024
Общество с ограниченной ответственностью "ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ ПСКОВ ЭКОЛОГИЯ" (ООО "ПО Псков Экология"), г. Псков
Срок действия реестра: 15.11.2029
93728-24
93728-24
2024
Shaanxi Far-Citech Instrument & Equipment Co., Ltd., Китай; производственная площадка Beijing NordTech Instrument & Meter Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 15.11.2029
93729-24
93729-24
2024
Акционерное общество "СИНТЭП" (АО "СИНТЭП"), г. Новосибирск
Срок действия реестра: 15.11.2029
93730-24
93730-24
2024
SHANGHAI UNI-STAR TOOLS COMPANY, КНР
Срок действия реестра: 15.11.2029
93733-24
93733-24
2024
Hitachi High-Tech Science Corporation, Япония
Срок действия реестра: 15.11.2029
93734-24
93734-24
2024
Chongqing Silian Measurement and Control Technology Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 15.11.2029
93753-24
93753-24
2024
Thermal Instrument India Pvt. Ltd., Индия
Срок действия реестра: 15.11.2029
93755-24
93755-24
2024
SHIJIAZHUANG HANDI TECHNOLOGY CO., LTD, Китай
Срок действия реестра: 15.11.2029