| Номер в госреестре | 71894-18 |
| Наименование СИ | Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем |
| Обозначение типа СИ | Agilent 4071А, 4072A, 4073A |
| Изготовитель | "Agilent Technologies, Japan, Ltd.", Япония |
| Год регистрации | 2018 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A (далее - системы) предназначены для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, измерений электрической емкости и электрической проводимости при исследовании тестовых структур полупроводниковых кристаллов.
Принцип действия систем основан на подаче входных электрических сигналов с программируемыми параметрами на входы исследуемого объекта и измерении выходных электрических сигналов объекта при помощи аналогово-цифровых преобразователей.
Конструктивно системы состоят из основной стойки с присоединенным измерительным блоком, манипулятора и рабочей станции (управляющей ПЭВМ), состоящей из монитора и процессорного блока.
В состав измерительного блока систем входят модули:
- универсальные источники и измерители напряжения и тока SMU: MPSMU (для моделей систем 4071 А, 4072A и 4073А) и HRSMU (для модели системы 4073А):
- платы коммутирования на выводы проб-карты;
- программируемый цифровой вольтметр DVM (Agilent 3458А);
- измеритель емкости и проводимости CMU (RLC измеритель Agilent E4980 или 4284A).
В состав универсальных источников и измерителей напряжения и тока MPSMU и
HRSMU входят быстродействующие и прецизионные АЦП.
Общий вид систем, место нанесения знака утверждения типа, место пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунке 1.
Программное обеспечение (ПО) предназначено для управления работой системы. Идентификационные данные (признаки) ПО приведены в таблице 1.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» по Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные (признаки) ПО
| Наименование программного обеспечения | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | sys4070 |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | не ниже C.04.02 |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
приведены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Универсальные источники и измерители напряжения и тока MPSMU | |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В | от -100 до +100 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В | ±(0,0005 U+1 мВ+RI)* ±(0,0005 U+10 мВ+RI) ±(0,0005 U+20 мВ+Rl) ±(0,0005 U+50 мВ+Rl) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В | ±(0,0004 U+0,8 мВ+R I) ±(0,0004 U+8 мВ+RI) ±(0,0004 U+16 мВ+RI) ±(0,0004 U+40 мВ+RI) |
| Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мА | от -100 до +100 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА | ±(0,01I+0,006 нА)** ±(0,01I+0,034 нА)** ±(0,002 I+0,35 нА) ±(0,002 I+1,7 нА) ±(0,0012I+0,015 мкА) ±(0,0012I+0,15 мкА) ±(0,0012I+1,5 мкА) ±(0,0012I+15 мкА) ±(0,0012I+150 мкА) |
| Наименование характеристики | Значение |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА | ±(0,01 1+0,006 нА)** ±(0,01 1+0,033 нА)** ±(0,002 1+0,300 нА) ±(0,002 1+1,2 нА) ±(0,0011+0,01 мкА) ±(0,0011+0,1 мкА) ±(0,0011+1 мкА) ±(0,0011+10 мкА) ±(0,001 1+100 мкА) |
| У ниверсальные источники и измерители напряжения и тока HRSMU | |
| Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В | от -100 до +100 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В | ±(0,0003 U+0,7 мВ+R I) ±(0,0003 U+4 мВ+RI) ±(0,0003 U+8 мВ+Rl) ±(0,0005 U+20 мВ+RI) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В | ±(0,0002 U+0,5 мВ+R I) ±(0,0003 U+3 мВ+RI) ±(0,0003 U+6 мВ+ri) ±(0,0005 U+15 мВ+RI) |
| Диапазон воспроизведения (измерения) силы постоянного тока, мА | от -100 до +100 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА | ±(0,6I+1 пА) ±(0,2 • I+1 пА) ±(0,01I+3,9 пА) ±(0,01I+0,009 нА) ±(0,0012I+0,06 нА) ±(0,0012I+0,5 нА) ±(0,0007 I+6 нА) ±(0,0007 I+0,05 мкА) ±(0,0006 I+0,6 мкА) ±(0,0006 I+5 мкА) ±(0,0012I+60 мкА) |
| Наименование характеристики | Значение | |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА | ±(0,6I+1 пА) ±(0,2I+1 пА) ±(0,011+3,4 пА) ±(0,01 1+0,008 нА) ±(0,0012 1+0,05 нА) ±(0,0012 1+0,45 нА) ±(0,0006 1+5 нА) ±(0,0006 1+0,045 мкА) ±(0,0006 1+0,5 мкА) ±(0,0006 1+4 мкА) ±(0,001 1+50 мкА) | |
| Программируемый цифровой вольтметр DVM | ||
| Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В | от -100 до +100 | |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне ±0,1 В в диапазоне ±1 В в диапазоне ±10 В в диапазоне ±100 В | для моделей 4071 А, 4072А | для модели 4073А |
| ±(0,0001 U+0,3) ±(0,0001 U+0,3) ±(0,0002-U+2) | ±(0,0001 U+0,1) ±(0,0001 U+0,1) ±(0,0001-U+0,2) ±( 0,0002 U+1) | |
| Измеритель емкости и проводимости CMU | ||
| Диапазон измерений электрической емкости, пФ | от 102 до 105 | |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, % | 2 | |
| Диапазон измерений электрической проводимости, См | от 10-4 до 10-2 | |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической проводимости, % | 1 | |
| * U - напряжение постоянного тока, мВ; I - сила тока постоянного тока, мА; R- электрическое сопротивление платы коммутирования, Ом ** Погрешность при сопротивлении нагрузки менее 1 ГОм | ||
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение переменного тока, В | 220±10 |
| - частота переменного тока, Гц | 50±1 |
| Условия эксплуатации: | |
| о/'ч - температура окружающего воздуха, С | от +18 до +28 |
| - относительная влажность окружающего воздуха, % | от 20 до 70 |
| - атмосферное давление, кПа | от 97 до 105 |
| Габаритные размеры, мм, не более: | |
| основная стойка | |
| - высота | 1600 |
| - ширина | 600 |
| - длина | 906 |
| измерительный блок | |
| - высота | 422 |
| - ширина | 640 |
| - длина | 642 |
| манипулятор | |
| - высота | 1600 |
| - ширина | 1400 |
| - длина | 1600 |
| рабочая станция | |
| - высота | 450 |
| - ширина | 230 |
| - длина | 510 |
| Масса, кг, не более: | |
| - основная стойка | 270 |
| - измерительный блок | 75 |
| - манипулятор | 420 |
| - рабочая станция | 35 |
наносится на лицевую панель основной стойки в виде наклейки и на титульные листы эксплуатационной документации типографским методом.
Комплектность системы приведена в таблице 4.
Таблица 4 - Комплектность системы
| Наименование | Обозначение | Количество, шт. |
| 1 Система автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем в составе: | Agilent 4071 А, или Agilent 4072A, или Agilent 4073A | 1 |
| 1.1 Основная стойка | 1 | |
| 1.2 Измерительный блок | 1 | |
| 1.3 Манипулятор | 1 | |
| 1.4 Рабочая станция | 1 | |
| 2 Руководство по эксплуатации | 1 | |
| 3 Методика поверки | 651-18-012 | 1 |
осуществляется по документу 651-18-012 «Инструкция. Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 25 января 2018 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр 3458А, регистрационный номер 25900-03 в Федеральном информационном фонде;
- меры электрического сопротивления однозначные Р3030, регистрационный номер 18445-99 в Федеральном информационном фонде;
- меры электрического сопротивления измерительные Р4015, Р4016, Р4017, Р4018, регистрационный номер 7791-80 в Федеральном информационном фонде;
- меры емкости образцовые Р597, регистрационный номер 2684-70 в Федеральном информационном фонде;
- набор мер емкости образцовых 3-го разряда Е1-3, регистрационный номер 8174-88 в Федеральном информационном фонде;
- набор мер сопротивления образцовых Е1-5, регистрационный номер 8175-81 в Федеральном информационном фонде.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска повери-тельного клейма.
приведены в эксплуатационном документе.
ГОСТ 8.022-91 ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 110-16 до 30 А
ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы
ГОСТ 8.371-80 ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости
Техническая документация фирмы-изготовителя
