| Номер в госреестре | 79940-20 |
| Наименование СИ | Измеритель толщины германиевых пластин |
| Обозначение типа СИ | МХ 203-4-21 special |
| Изготовитель | E+H Metrology GmbH, Германия |
| Год регистрации | 2020 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Измеритель толщины германиевых пластин МХ 203-4-21 special (далее по тексту -измеритель) предназначен для измерений толщины и контроля прогиба, коробления и разнотолщинности круглых германиевых пластин.
Принцип работы измерителя основан на принципе действия емкостных датчиков. Измерительная часть состоит из 2 х зондов, расположенных параллельно напротив друг друга. В каждом зонде находится 21 емкостной датчик расстояния.
Измеритель предназначен для круглых германиевых пластин диаметром 50мм, 75 мм и 100мм). В измеритель загружается германиевая пластина, происходит измерение расстояния от верхнего зонда до лицевой стороны пластины и расстояния от нижнего зонда до обратной стороны пластины. Толщина вычисляется как разница суммы измеренных расстояний из известной дистанции между парами датчиков зонда.
Внешний вид измерителя представлен на рисунке 1.
Измеритель имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), с помощью которого осуществляется сбор данных.
Идентификационные данные ПО измерителя приведены в таблице 1.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | MX-NT |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 2.763 и выше |
При работе с измерителем пользователь не имеет возможности влиять на процесс расчета и не может изменять полученные в ходе измерений данные.
Защита программного обеспечения измерителя соответствует уровню «низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины, мкм | от 150 до 550 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм | ±(0,5+0,005 L), где L, мкм |
| Воспроизводимость, мкм | 0,3 |
| Диапазон показаний прогиба и коробления, мкм - для пластин диаметром 50 мм - для пластин диаметром 75 мм - для пластин диаметром 100 мм | от -20 до +20 от -40 до +40 от -80 до +80 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диаметр контролируемых пластин, мм | 50 |
| 75 | |
| 100 | |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение, В | от 100 до 240 |
| - частота, Гц | 50/60 |
| Габаритные размеры, мм, не более: | |
| - длина | 360 |
| - ширина | 360 |
| - высота | 190 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды °С | от +15 до +25 |
наносится на титульные листы руководства по эксплуатации и типографским способом.
Таблица 4 - Комплектность
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Измеритель толщины германиевых пластин | МХ 203-4-21 special зав. № 3637 | 1 шт. |
| Ноутбук | - | 1 шт. |
| Рамка центрирующая | - | 1 шт. |
| Калибровочная пластина | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Паспорт | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 203-58-2019 | 1 экз. |
осуществляется в соответствии с документом МП 203-58-2019 «ГСИ. Измеритель толщины германиевых пластин МХ 203-4-21 special. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 01 октября 2019 г.
Основное средство поверки:
Наборы мер толщины ГЕРМАНИИ (Рег. № 78232-20)
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
приведены в эксплуатационном документе.
Техническая документация завода изготовителя
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 17.11.2024 |
