Масс-спектрометры МС-200, МС-500, 81172-21

Назначение

Масс-спектрометры МС-200, МС-500 (далее - масс-спектрометры) предназначены для измерения содержания элементного состава многокомпонентных газов в режиме реального времени.

Описание

Масс-спектрометры МС-200, МС-500 относятся к времяпролётным масс-спектрометрам типа масс-рефлектрон, принцип действия которых основан на разделении ионов по массам в зависимости от времени их пролёта в бесполевом пространстве дрейфа.

Анализируемый газ, через систему напуска, подается в камеру анализатора, в которой с помощью турбомолекулярного насоса создается высокий вакуум. В ионизационном промежутке источника ионов осуществляется ионизация молекул исследуемого газа и образование положительно заряженных ионов. Ионизация производится пучком электро-новвыходящим из электронной пушки с энергией до 100 эВ. Под действием электрического поля, создаваемого импульсом 1200 В от генератора прямоугольных импульсов, происходит выталкивание ионов исследуемого газа в пространство дрейфа.

Источник ионов и детектор работают в импульсном синхронном режиме, осуществляя регистрацию ионов, как в токовом, так и в счётном (с накоплением ионов) режимах, что позволяет повысить отношение сигнал/шум, и динамический диапазон измерений.

Фокусировка ионных пакетов осуществляется при помощи электростатических полей отражателя ионов. Ионные пакеты преобразуются в импульсы электрического тока приемником ионов. В качестве приемника ионов используется шевронная сборка микро-канальных пластин МКП-24. Напряжения и токи, необходимые для работы масс-анализатора, формируют модуль оптики и модуль генератора, на которые подаются постоянные напряжения от блока электроники.

Полученные с детектора электрические импульсы усиливаются усилителем-интегратором и поступают на модуль обработки спектра, где происходит их преобразование в цифровую форму, накопление и первичная обработка. Дальнейшая обработка информации происходит в компьютере системы управления и отображения данных по заданной программе. Процентный состав анализируемого газа отображается на экране монитора.

Масс-спектрометры МС-200 и МС-500 отличаются метрологическими характеристиками, а именно диапазоном измеряемых масс, разрешающей способностью и пороговой чувствительностью.

1    - место для пломбировки от несанкционированного доступа.

2    - место для нанесения знака утверждения типа

Рисунок 1 - Внешний вид масс-спектрометров

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) предназначено только для работы с масс-спектрометрами и не может быть использовано отдельно от измерительновычислительной платформы масс-спектрометров.

Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики масс-спектрометров не выходит за пределы согласованного допуска.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1 Идентификационные данные программного обеспечения

Метрологически значимая часть ПО масс-спектрометров «МС» версии 154 и измеренные данные защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО масс-спектрометров «МС» версии 154, соответствует уровню «Средний» в соответствии с п. 4.5 рекомендации Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики масс-спектрометров приведены в таблицах 2 и 3. Условия эксплуатации приведены в таблице 4.

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Таблица 4 - Условия эксплуатации

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель масс-спектрометра в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Сведения о методах измерений

приведены в документе Масс-спектрометры МС-200, МС-500. Руководство по эксплуатации ИТА 20.00.00.000 РЭ, раздел 3

Нормативные документы

масс-спектрометры МС-200, МС-500. ТУ 7215-050-8774256-2018;