Главная Госреестр СИ Микроскопы сканирующие электронные TESCAN

Микроскопы сканирующие электронные TESCAN, 83645-21

Микроскопы сканирующие электронные TESCAN (далее микроскопы) предназначены для измерений размеров, формы, ориентации и других параметров нано - и микроструктур поверхностей различных объектов.

Документы

Описание типа

Методика поверки

Карточка СИ

Номер в госреестре	83645-21
Наименование СИ	Микроскопы сканирующие электронные
Обозначение типа СИ	TESCAN
Изготовитель	TESCAN Brno s.r.o., Чешская Республика
Год регистрации	2021
Срок свидетельства	11.11.2026
МПИ (интервал между поверками)	1 год
Стоимость поверки	Узнать стоимость
Описание типа	скачать
Методика поверки	скачать

Назначение

Описание

Принцип работы микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований.

Микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов, форвакуумного насоса и стола оператора с персональным компьютером.

Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов (внутрикамерный, встроенный в объективную линзу, для работы в режиме низкого вакуума), детектор обратно отражённых (внутрикамерный, встроенный в объективную линзу), детектор прошедших электронов, детектор катодолюминесцентного излучения, детектор вторичных ионов, а также других специализированных детекторов.

К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения органов управления микроскопом (трекбол, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки образцов перед исследованием. Остальные элементы, обеспечивающие функционирование прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа.

Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью разнообразных держателей. Один из возможных стандартных держателей выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.

Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключаться выносная панель с ручками, предназначенная для быстрого изменения и контроля основных параметров.

Дополнительно возможна установка на микроскоп следующих аналитических систем и дополнений: система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного микроанализа, система определения фазового состава, структуры и текстуры методом анализа картин дифракции обратно отраженных электронов, а также других специализированных решений.

Микроскопы сканирующие электронные TESCAN изготавливаются следующих модификаций VEGA, MIRA, TIMA, CLARA, AMBER, AMBER X, MAGNA, SOLARIS, SOLARIS X. В зависимости от типоразмера камеры образцов микроскопы перечисленных модификаций, имеют дополнительные обозначения - Compact, LM и GM. Дополнительно к обозначению типоразмера камеры образцов добавляются буквы английского алфавита (S, H, U), например, VEGA LMS, MIRA GMU, CLARA LMH, обозначающие возможные режимы работы вакуумной системы.

Указанные микроскопы сканирующие электронные перечисленных модификаций, имеют дополнительную цифробуквенную кодировку двух видов «SXXXX» и «SXXXXX», где X - любая цифра или буква английского алфавита. Заводские номера наносятся на заднюю часть корпуса микроскопов в виде этикетки (шильдика) и имеют буквенно-цифровое обозначение.

Конструкция микроскопов обеспечивает ограничение доступа к составным частям с целью предотвращения несанкционированных настроек (регулировок), которые могут привести к искажению результатов измерений, поэтому пломбирование корпуса микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN приведен на рисунке 1.

з)

Рисунок 1 - внешний вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN а) VEGA; б) MIRA; в) TIMA; г) CLARA; е) AMBER, AMBER X; ж) MAGNA;

з) SOLARIS, SOLARIS X

Программное обеспечение

Микроскопы оснащены программным обеспечением (ПО) «Tescan Essence». Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО микроскопов
Идентификационные данные (признаки)	Значение
Идентификационное наименование ПО	Tescan Essence
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже	1.0.0.0
Цифровой идентификатор ПО	-

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют, что исключает влияние ПО на метрологические характеристики микроскопов.

Защита программного обеспечения микроскопов соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов

Наименование характеристики	Значение
Модификация	VEGA, MIRA, TIMA	CLARA, AMBER, AMBER X	MAGNA, SOLARIS, SOLARIS X
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мм	от 0,0003 до 10
Пределы допускаемой относительной погрешности, %	±3

Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов

Наименование характеристики	Значение
Модификация	VEGA		MIRA		TIMA		CLARA
	Compact LM	GM	LM	GM	LM	GM	LM	GM
Разрешение, нм, не более	3		1,2				0,9
Максимальная высота образца, мм: - со столиком вращения - без столика вращения	54 81	106 147	54 81	106 147	54 81	106 147	49 76	95 136
Диапазон наклона столика образцов, градусы	от -80 до +80	от -60 до +90	от -80 до +80	от -60 до +90	от -80 до +80	от -60 до +90	от -80 до +80	от -60 до +90
Перемещение столика образцов, мм, не менее: - по оси X - по оси Y - по оси Z	80 60 50	130 130 100	80 60 50	130 130 100	78 60 31	130 130 100	80 60 49	130 130 95
Диапазон вращения столика образцов, градусы	от 0 до 360
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Г ц	230±23 50±2,5
Габаритные размеры, мм, не более - длина - ширина - высота	3000 1500 2000		3000 1500 2000		3000 1500 2000		3000 1500 2000
Масса, кг, не более	500		600		700		800
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %	от +17 до +28 до 65		от +17 до +24 до 65
Увеличение, крат	От 2 до 1 000 000						от 2 до 2 000 000
Давление в камере, Па, не более	1х10'2

родолжение таблицы 3
Наименование характеристики	Значение
Модификация	AMBER,	MAGNA		SOLARIS,
Модификация	AMBER X	LM	GM	SOLARIS X
Разрешение, нм, не более	0,9	0,6		0,6
Максимальная высота образца, мм:
- со столиком вращения - без столика вращения	90 132	45 72	90 131	90 132
Диапазон наклона столика образцов, градусы	от -60 до +90	от -80 до +80	от -60 до +90	от -60 до +90
Перемещение столика образцов, мм, не
менее:
- по оси X	130	80	130	130
- по оси Y	130	60	130	130
- по оси Z	90	45	90	90
Диапазон вращения столика образцов,		пт Г) пп ^(Sf)
градусы
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В		230±23
- частота переменного тока, Г ц		50±2,5
Габаритные размеры, мм, не более
- длина	3000	3000		3000
- ширина	1500	1500		1500
- высота	2000	2000		2000
Масса, кг, не более	1100	800		1100
Условия эксплуатации:
- температура окружающей		от +17 до +24
среды, °С
- относительная влажность, %		до 65
Увеличение, крат	от 2 до 2 000 000	от 4 до 2 000 000
Давление в камере, Па, не более	1х10'2

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование	Обозначение	Количество
Микроскоп сканирующий электронный	TESCAN	1 шт.
Компьютер с ПО		1 шт.
Руководство по эксплуатации		1 экз.