| Номер в госреестре | 88221-23 |
| Наименование СИ | Датчик давления мембранно-емкостный |
| Обозначение типа СИ | Cube CDGsci |
| Изготовитель | Inficon AG, Лихтенштейн |
| Год регистрации | 2023 |
| МПИ (интервал между поверками) | 2 года |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Датчик давления мембранно-емкостный Cube CDGsci (далее по тексту - датчик) предназначен для измерений абсолютного давления в диапазоне от 1 до 1300 Па при поверке и калибровке средств измерений абсолютного давления различных типов.
К данному типу средств измерений относится датчик с зав. № 540255789.
Принцип действия датчика основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией мембранно-емкостного чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.
Конструктивно датчик выполнен в виде компактного невосприимчивого к воздействиям окружающей среды корпуса с размещенной внутри керамической диафрагмой-мембраной и измерительной камерой. При подаче в измерительную камеру давления керамическая диафрагма-мембрана отклоняется. Отклонение измеряется емкостным способом и преобразуется цифровой электроникой в цифровой выходной сигнал.
При сильных вибрациях в вакуумной системе датчик устанавливается с демпфирующим устройством.
Выходной сигнал не зависит от типа газа.
Точное измерение давления достигается за счет нагрева датчика до постоянной температуры 45 °С, что приводит к компенсации изменений условий окружающей среды и уменьшению осаждения продуктов процесса и побочных продуктов в технологических процессах. Встроенная перегородка защищает датчик от покрытия.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено.
Заводской номер наносится на корпус датчика в виде наклейки.
Пломбирование датчика не предусмотрено.
Общий вид датчика приведен на рисунке 1. Информационная табличка в виде наклейки представлена на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид датчика давления мембранно-емкостного Cube CDGsci
Датчик функционирует под управлением программного обеспечения (ПО), которое является неотъемлемой его частью. ПО выполняет следующие функции: управление работой датчика; формирование выходных сигналов; обработка, передача и отображение результатов измерений, автоматическая диагностика состояния датчика. Так же ПО обеспечивает интерфейс пользователя, при помощи которого осуществляются такие функции, как выбор единицы измерения, разрядности отображения результатов измерений и другие.
Влияние ПО датчика учтено при нормировании метрологических характеристик.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | INFICON Cube |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 1.8.0.18 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па1) | от 1 до 1300 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности, % - в диапазоне от 1 до 1,3 102 Па включ. - в диапазоне св. 1,3 102 до 1,3-103 Па | ±(5 - 0,5) ±0,5 |
| 1) Допускается выбор других единиц измерений давления, с учетом соотношения 1 Торр = 1,3332 мбар = 133,3224 Па | |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Цифровой интерфейс | RS232, Ethernet |
| Габаритные размеры датчика, мм, не более | |
| - высота | 195 |
| - ширина | 110 |
| - длина | 105 |
| Масса датчика, кг, не более | 1,7 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды, °С | от +15 до +25 |
| - относительная влажность, %, не более | 80 |
| - атмосферное давление, кПа | от 84 до 106,7 |
Знак утверждения типа наносится
на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность датчика
| Наименование частей | Обозначение | Количество |
| Датчик | Cube CDGsci | 1 компл. |
| Демпфирующий блок | - | 1 шт. |
| WLAN-адаптер с USB | - | 1 шт. |
| Разъем LEMO | - | 1 шт. |
| Кабель Ethernet | - | 1 шт. |
| Блок питания | - | 1 шт. |
| Кейс | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Паспорт | - | 1 экз. |
приведены в документе «Емкостный мембранный датчик Cube CDGsci. Руководство по эксплуатации», раздел 4.
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне Г10-1^Г107 Па, утвержденная приказом Росстандарта от 6 декабря 2019 г. № 2900.
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 26.10.2025 |
