Установка измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 Обозначение отсутствует, 88518-23

Назначение

Установка измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 (далее - установка) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.

Описание

Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.

Установка представляет собой автоматизированную систему анализа плоскостности пластин, которая включает в себя передачу пластин из кассеты в кассету с возможностью конфигурировать параметры сортировки пользователем. Установка объединяет в себе интерферометр для измерения скользящего падения с роботизированной системой перемещения пластин промышленного стандарта. Установка может быть сконфигурирована для измерения пластин диаметром от 2 до 8 дюймов из различных материалов, в том числе арсенида галлия, кварцевого сапфира, германия и кремния.

В установке используется конструкция интерферометра с наклонным падением луча. В качестве источника света интерферометр использует лазерный диод. Во время бесконтактного измерения пластина находится ниже призмы интерферометра в нижней части прибора. Компьютерная система собирает данные измерения по мере того, как лазер сканируется на поверхности пластины.

Внешний вид установки приведен на рисунке 1.

Пломбирование установки измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Нанесение знака поверки на установку не предусмотрено. Заводской номер нанесен на заднюю часть корпуса установки в виде этикетки (шильдика) и имеет буквенно-цифровое обозначение (рисунок 2).

К установкам, относящимся к данному типу средств измерений, относится установка измерения геометрических параметров пластин CorningTropel UltraSort 200 зав. № 9500294521.

Рисунок 1 - Внешний вид установки измерения геометрических параметров пластин

CorningTropel UltraSort 200

CORNING TROPEL CORPORATION

60 O’Connor Rd. Fairport, NY 14450-USA

C€

MODEL 128892-6310

SERIAL it 9500294521

DATE MANUFACTURED August 2014

This laser product complies with FDA Radiation Performance ^ Standards 21 CFRT Chapter I, Sub-Chapter J._

Рисунок 2 - Внешний вид этикетки (шильдика)

Программное обеспечение

Установка оснащена программным обеспечением (ПО) TMS. Програмное обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от эталонной плоскости.

Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО установки

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.

Защита программного обеспечения установки соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики установки

Таблица 3 - Технические характеристики установки

Нормативные документы

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей».