Государственный реестр средств измерений

Системы контроля толщины сухой пленки SpecMetrix DFT-QA lab, 88999-23

Системы контроля толщины сухой пленки SpecMetrix DFT-QA lab (далее - системы) предназначены для измерений толщины полимерной пленки и толщины полимерных покрытий на подложке или без нее бесконтактным способом.
Карточка СИ
Номер в госреестре 88999-23
Наименование СИ Системы контроля толщины сухой пленки
Обозначение типа СИ SpecMetrix DFT-QA lab
Изготовитель "SENSORY ANALYTICS LLC", США
Год регистрации 2023
Срок свидетельства 15.05.2028
МПИ (интервал между поверками) 1 год
Описание типа скачать
Методика поверки скачать

Назначение

Системы контроля толщины сухой пленки SpecMetrix DFT-QA lab (далее - системы) предназначены для измерений толщины полимерной пленки и толщины полимерных покрытий на подложке или без нее бесконтактным способом.

Описание

Принцип действия систем основан на оптическом методе неразрушающего контроля, базирующимся на исследовании характера взаимодействия оптического излучения с контролируемым объектом.

Система излучает свет в виде плоской волны. Плоская волна падает перпендикулярно на контролируемый объект, в результате чего образуются отраженные волны, с определенной разностью хода. Эти волны могут интерферировать при соблюдении условий временной когерентности. Максимум интерференции приходится на одну или несколько длин волн. Результат измерений толщины пленки зависит от разности хода волн и показателя преломления в материале, в которую должен укладываться интерференционный максимум.

Лампа внутри модуля рабочего системного излучает свет, далее этот свет распространяется по оптоволоконному кабелю (зонду). Сфокусированный линзой на конце зонда, луч от лампы падает на пленку, затем отражается от неё, попадает в приемные волокна зонда. Далее по оптоволоконному кабелю свет распространяется и принимается датчиком внутри модуля рабочего системного, после чего обрабатывается при помощи программного обеспечения.

Системы состоят из модуля рабочего системного, зонда, усиленного зонда, регулируемой линзы для настройки, подставки для тонкой пленки, кронштейна для крепления усиленного зонда. Модуль рабочий системный может включать внутри себя датчики видов VIS, NIR и EXR.

Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Заводской номер в виде цифро-буквенного обозначения, состоящего из арабских цифр и букв латинского алфавита, наносится методом наклеивания этикетки на боковую панель модуля рабочего системного.

Общий вид систем представлен на рисунке 1.

Места

нанесения

заводского

номера

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) предназначено для регистрации измерений толщины пленки и толщины покрытий на подложке или без нее бесконтактным способом с последующим сохранением результатов измерений для их обработки.

Метрологически значимое ПО QA Offline предназначено для проведения измерений при сканировании в непрерывном режиме, отображения результатов измерений в виде графических и табличных данных.

Метрологически значимое ПО SA Inline предназначено для проведения измерений при сканировании в одиночном и многократном режимах, отображения результатов измерений в виде графических и табличных данных.

Метрологически значимое ПО SA Analysis Tool выполняет функции:

-    отображение графических данных, показывающее нормализованную вероятность толщины/веса для конкретного измерения и нормализованную отражательную способность, используемую для расчета толщины покрытия/пленки;

-    отображение пиковых данных;

-    редактирование и настройка значения параметров анализа пиков и настроек слоя;

-    установка технических характеристик и графика;

-    отображение обзорной сетки со всеми аналитическими показаниями;

-    настройка пользовательского интерфейса.

ПО SA Data Manager предназначено для просмотра, редактирования и добавления рецептур.

Уровень защиты ПО «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

QA Offline SA Inline SA Data SA Analysis

Manager Tool

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 3.4.3

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений толщины полимерной пленки и толщины полимерных покрытий на подложке или без нее, мкм

-    для датчика вида VIS

-    для датчика вида NIR

-    для датчика вида EXR

от 10 до 50 от 10 до 180 от 10 до 250

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины полимерной пленки и толщины полимерных покрытий на подложке или без нее, мкм

-    в диапазоне от 10 до 35 включ.

-    в диапазоне св. 35 до 250

± (0,5+0,03 Н*) ± (0,7+0,02Н*)

* Н - измеренное значение толщины, мкм.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон показаний толщины пленки и толщины покрытий на подложке или без нее, мкм

от 0,5 до 350,0

Диапазон бесконтактного измерения, мм

от 15 до 33

Масса электронного блока, кг, не более

50

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более

1023x334x639

Параметры электрического питания сети переменного тока

-    напряжение переменного тока, В

-    частота переменного тока, Гц

от 120 до 240 от 50 до 60

Условия эксплуатации:

-    температура окружающей среды, °С

-    относительная влажность, %

от 0 до +50 от 10 до 90

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации. Комплектность средства измерений

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Система контроля толщины сухой пленки: - модуль рабочий системный

SpecMetrix DFT-QA lab

1 шт.

Регулируемая линза для настройки

-

1 шт.

Подставка для тонкой пленки (12 дюймов)

-

1 шт.

Кронштейн для крепления усиленного зонда

-

1 шт.

Усиленный зонд (5м, Straight, VIS/NIR)

-

1 шт.

Зонд (1,37 м, 60нм, VIS/NIR)

-

1 шт.

Зонд (4 м, Con. 600 нм)

-

1 шт.

Усиленный зонд (10 м, ST, 200 нм)

-

1 шт.

Калибровочный диск

-

1 шт.

Комплект аксессуаров

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в разделе 3.8.1 «Проведение измерений» Руководства по эксплуатации «Системы контроля толщины сухой пленки SpecMetrix DFT-QA lab. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»;

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 23 декабря 2019 г. № 3276 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений толщины покрытий в диапазоне значений от 1 до 120000 мкм»;

Стандарт предприятия «SENSORY ANALYTICS LLC», США.

Зарегистрировано поверок 1
Поверителей 1
Актуальность данных 07.12.2024
88999-23
Номер в ГРСИ РФ:
88999-23
Производитель / заявитель:
"SENSORY ANALYTICS LLC", США
Год регистрации:
2023
Cрок действия реестра:
15.05.2028
Похожие СИ
94992-25
94992-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью Производственно-монтажная компания "Практик" (ООО ПМК "Практик"), г. Москва
Срок действия реестра: 27.03.2030
94993-25
94993-25
2025
Jiangsu Pinyan Photoelectric Technology Co., Ltd., Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
94997-25
94997-25
2025
"Beijing Beifen-Ruili Analytical Instrument (Group) Co., Ltd.", Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95001-25
95001-25
2025
Shanghai Wusong Electric Industrial Co., Ltd, Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95002-25
95002-25
2025
Shanghai Wusong Electric Industrial Co., Ltd, Китай
Срок действия реестра: 27.03.2030
95003-25
95003-25
2025
Fujian Lilliput Optoelectronics Technology Co., Ltd., КНР
Срок действия реестра: 27.03.2030
95005-25
95005-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "СервисСофт Инжиниринг" (ООО "СервисСофт Инжиниринг"), г. Москва
Срок действия реестра: 27.03.2030
95006-25
95006-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "ЮМССОФТ" (ООО "ЮМССОФТ"), г. Томск
Срок действия реестра: 27.03.2030
79207-25
79207-25
2025
Закрытое акционерное общество "Мехатроника" (ЗАО "Мехатроника"), Республика Беларусь
Срок действия реестра: 05.12.2029
94967-25
94967-25
2025
Общество с ограниченной ответственностью "Золотой Век" (ООО "Золотой Век"), г. Екатеринбург
Срок действия реестра: 21.03.2030