Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р, 90948-24

Назначение

Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р (далее - системы ИУС-7Р) предназначены для измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.

Описание

Принцип действия систем ИУС-7Р основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки, установленной на поверхности образца полупроводникового (диэлектрического) материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности. Для расчетов УПЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.

Конструктивно системы ИУС-7Р состоят из следующих блоков:

- измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К;

- микроомметра Е6-42 (зарегистрирован в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений под № 88789-23).

Удельное поверхностное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью программного обеспечения (далее - ПО), исходя из измеренных значений электрического сопротивления и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом размеров измеряемого образца. Персональный компьютер с установленным ПО подключается к микроомметру Е6-42 USB-кабелем. ПО систем ИУС-7Р на основе измеренных параметров позволяет рассчитать также удельное электрическое сопротивление пластины и сопротивление растекания.

Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,59 мм. В комплект поставки входят два типа четырехзондовых измерительных головок: ТС с зондами, изготовленными из карбида вольфрама с остриями конусообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин полупроводниковых материалов) и BeCu с зондами, изготовленными из бериллиевой бронзы с остриями шарообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин диэлектрических материалов).

Конструкция систем ИУС-7Р обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).

Маркировочные таблички блоков системы ИУС-7Р с заводским номером, выполненным типографским методом в виде цифрового кода, наклеены на задние панели измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42.

Заводской номер системы ИУС-7Р присваивается по заводскому номеру измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К. Информация о заводских номерах системы ИУС-7Р и входящих в ее состав блоков приведена в формуляре.

Пломбирование систем ИУС-7Р не предусмотрено.

Нанесение знака поверки на системы ИУС-7Р не предусмотрено.

Общий вид систем ИУС-7Р представлен на рисунке 1.

Места нанесения заводского номера и знака утверждения типа

Рисунок 1 - Общий вид систем ИУС-7Р

Программное обеспечение

Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем ИУС-7Р приведены в таблице 1.

Уровень защиты ПО систем  ИУС-7Р   «средний» в соответствии с

Р 50.2.077-2014.

Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики систем ИУС-7Р

Таблица 3 - Технические характеристики систем ИУС-7Р

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на маркировочные таблички измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42 типографским методом или в виде наклейки.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Сведения о методах измерений

приведены в Руководстве по эксплуатации ЛДПА.411-04.00.000РЭ, раздел 10 «Порядок работы».

Нормативные документы

ЛДПА.411-04.00.000ТУ  «Система измерения параметров пластин  ИУС-7Р.

Технические условия»;

Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»;

Приказ Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1Л0-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».