| Номер в госреестре | 91190-24 |
| Наименование СИ | Вакуумметр мембранно-емкостной |
| Обозначение типа СИ | MKS |
| Изготовитель | MKS Instruments, Inc., США |
| Год регистрации | 2024 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Вакуумметр мембранно-емкостной MKS (далее - вакуумметр) предназначен для измерений абсолютного давления газов.
К данному типу средства измерений относится вакуумметр мембранно-емкостной MKS зав. № 01.
Конструктивно вакуумметр состоит из датчиков мембранно-емкостных Baratron 622D11TAE № 112293738, Baratron 622D12TAE № 112150938 и контроллера PDR-2000 № 111898251, предназначенного для преобразования аналогового выходного сигнала датчиков в измеренное значение абсолютного давления.
Принцип действия вакуумметра основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.
На корпусе датчиков мембранно-емкостных 622D11TAE и Baratron 622D12TAE (далее - датчик) размещена трубка нагнетательного штуцера, подсоединенная к измерительной камере в корпусе датчика вакуумметра. Одна из стенок измерительной камеры представляет собой эластичную металлическую мембрану. Передняя сторона мембраны подвергается воздействию измеряемого давления, обратная сторона мембраны направлена в сторону жестко смонтированного керамического диска, содержащего два электрода. Мембрана изгибается при изменении абсолютного давления вне зависимости от типа газа или состава измеряемого газа. Изгиб мембраны приводит к нарушению баланса емкости электродов. Дисбаланс емкости электродов преобразуется в напряжение постоянного тока, формируемое в аналоговый выходной сигнал датчика вакуумметра. Результат измерений абсолютного давления в единице величины давления отображается на дисплее контроллера PDR-2000 (далее - контроллер). Датчики отличаются диапазоном измерений абсолютного давления.
Пломбировка корпуса вакуумметра не предусмотрена.
Заводской номер вакуумметра наносится в формате цифровой печати в паспорте вакуумметра. Идентификационный номер датчика наносится на корпус датчика методом наклейки в формате цифрового обозначения. Идентификационный номер контроллера наносится на корпус контроллера методом наклейки в формате цифрового обозначения.
Нанесение знака поверки на корпус вакуумметра не предусмотрено.
Общий вид датчика представлен на рисунке 1. Общий вид контроллера представлен на рисунке 2. Место нанесения идентификационного номера на датчик представлено на рисунке 3. Место нанесения идентификационного номера на контроллер представлено на рисунке 4.
Рисунок 1 - Общий вид датчика мембранно-емкостного Baratron 622D
Рисунок 2 - Общий вид контроллера PDR-2000
Рисунок 3 - Место нанесения идентификационного номера на датчик мембранно-емкостной Baratron 622D
Место нанесения идентификационного номера
Рисунок 4 - Место нанесения серийного номера контроллер PDR-2000
Вакуумметр имеет встроенное программное обеспечение (далее - ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметра. ПО выполняет следующие функции:
- выбор единицы измерений давления;
- прием, обработка и отображение измерительной информации.
Метрологически значимым является встроенное ПО вакуумметра, влияние метрологически значимого ПО учтено при нормировании метрологических характеристик вакуумметра.
Идентификационные данные ПО представлены в Таблице 1.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «низкий» в соответствии с Рекомендацией Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) ПО | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | MKS |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.5 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Таблица 2 - Метрологические характеристики .____
| Наименование характеристики | Значение | |
| Baratron 622D1UAE | Baratron 622D12IAE | |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па (Торр) | от 133 до 1333 (от 1 до 10) | от 1333 до 13332 (от 10 до 100) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений абсолютного давления, Па | ± (5,5 + 5,5M0-4-p) | |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений абсолютного давления, Торр | ± (0,041+5,5-10-4-p) | |
| Примечания: 1) Допускается выбор других единиц измерений давления, с учетом соотношения 1 Торр = 133,322 Па в соответствии с ГОСТ 8.417-2002 2) p - измеряемое давление, Па (Торр) | ||
Таблица 3 - Основные технические характеристики вакуумметра
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока датчика, В - напряжение переменного тока контроллера, В - частота переменного тока контроллера, Гц | от 14,3 до 15,7 от 90 до 265 от 47 до 65 |
| Габаритные размеры, мм, не более: - датчика (высота х диаметр) - контроллера (высота х ширина х глубина) | 130x65 50х100х170 |
| Масса, кг, не более: - датчика - контроллера | 0,28 0,4 |
| Срок службы, лет | 10 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +35 80 от 84 до 106,7 |
наносится типографским способом на титульный лист паспорта вакуумметра.
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Кол-во |
| Вакуумметр мембранно-емкостной MKS в составе: | - | 1 шт. |
| - датчик мембранно-емкостной 622D11TAE | - | 1 шт. |
| - датчик мембранно-емкостной 622D12TAE | - | 1 шт. |
| - контроллер PDR-2000 | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации на датчики | - | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации на контроллер | - | 1 экз. |
| Паспорт | - | 1 экз. |
приведены в разделе 4 «Эксплуатация» «Датчики давления мембранно-емкостные Baratron модели 622D/623H/626D. Руководство по эксплуатации», главе 3 «Эксплуатация» «Контроллер с двумя мембранно-емкостными датчиками производства MKS модель PDR 2000. Руководство по эксплуатации»
Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10’1 - 1-107 Па, утвержденная приказом Росстандарта от 6 декабря 2019 г. № 2900.
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 21.11.2024 |
